【摘要】：利用介孔材料MCM-41作為石英晶體微天平(Quartz Crystal Micro-Balance,QCM)質(zhì)量型傳感器的濕敏材料來構(gòu)建濕度傳感器。采用X-ray、SEM、BET等對樣品的結(jié)構(gòu)和形貌進行了表征和分析,并系統(tǒng)研究了其濕敏性能。結(jié)果表明,該濕度傳感器具有濕度量程大(1%～100%RH)、靈敏度高、穩(wěn)定性好、濕滯小、易于集成化等優(yōu)點。
[Abstract]:The humidity sensor was constructed by using mesoporous material MCM-41 as humidity sensitive material of quartz crystal microbalance (Quartz Crystal Micro-Balance,QCM mass sensor. The structure and morphology of the samples were characterized and analyzed by X-rayne SEM BET et al. The humidity sensitivity of the samples was systematically studied. The results show that the humidity sensor has the advantages of large humidity range (1%~100%RH), high sensitivity, good stability, small humidity lag and easy integration.
【作者單位】： 上海第二工業(yè)大學(xué)環(huán)境與材料工程學(xué)院;上海巨浪環(huán)�？萍及l(fā)展有限公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(No.51678353) 上海市自然科學(xué)基金項目(No.15ZR1416800) 浦東新區(qū)科技發(fā)展基金(No.PKJ2015-C07&PKJ2015-C14) 上海第二工業(yè)大學(xué)培育學(xué)科(No.XXKPY1601)資助
【分類號】：TP212

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 高迎春;陶瓷濕度傳感器[J];傳感器技術(shù);1983年03期

2 郭秀芬;陶瓷濕度傳感器[J];壓電與聲光;1984年06期

3 何希才,尤克;濕度傳感器的選用[J];儀表技術(shù)與傳感器;1990年02期

4 孫秉軍;試談濕度傳感器技術(shù)與應(yīng)用[J];儀器儀表與分析監(jiān)測;1994年03期

5 閻軍,王玉琦;濕度傳感器的研究開發(fā)和應(yīng)用[J];自動化博覽;1994年02期

6 ;國內(nèi)外部分濕度傳感器參數(shù)測試及選型[J];傳感器世界;1996年11期

7 吳瓊;采用高分子材料的濕度傳感器[J];自動化與儀表;2000年05期

8 向馗,何聞,李揚;濕度傳感器復(fù)阻抗測量方法的研究[J];儀表技術(shù)與傳感器;2001年11期

9 趙秀珍,王乃釗,毛文華;光照度、空氣溫/濕度傳感器的研究和實驗[J];中國儀器儀表;2002年01期

10 王志剛;物性型濕度傳感器的物理性能及其應(yīng)用[J];現(xiàn)代物理知識;2004年01期

相關(guān)會議論文 前10條

1 王陽;陳軍寧;柯導(dǎo)明;孟堅;;濕度傳感器的分類及研究[A];全國第16屆計算機科學(xué)與技術(shù)應(yīng)用（CACIS）學(xué)術(shù)會議論文集[C];2004年

2 侯建軍;;電子式濕度傳感器的選擇[A];四川省電子學(xué)會傳感技術(shù)第九屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

3 李小兵;楊明紅;廖招龍;;端面鍍膜的光纖濕度傳感器的實驗研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2010年光學(xué)大會論文集[C];2010年

4 朱岳輝;;濕度傳感器示值誤差測量結(jié)果不確定度的評定[A];江蘇省計量測試學(xué)會2005年論文集[C];2005年

5 周鋒;張淑娟;劉泰宏;丁立平;房喻;;基于靜電紡絲法熒光濕度傳感器的制備[A];中國化學(xué)會第28屆學(xué)術(shù)年會第11分會場摘要集[C];2012年

6 謝曉;王文;何世堂;;涂覆聚苯胺的聲表面波濕度傳感器實驗研究[A];中國聲學(xué)學(xué)會第十屆青年學(xué)術(shù)會議論文集[C];2013年

7 曾歡歡;趙湛;王奇;方震;張博軍;;聚酰亞胺電容式濕度傳感器的研制及改進[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

8 李揚;鄧超;楊慕杰;;交聯(lián)季胺化聚(4-乙烯基吡啶)/聚吡咯復(fù)合濕度傳感器的制備及其濕敏響應(yīng)特性研究[A];2011年全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會論文摘要集[C];2011年

9 向光華;忽滿利;喬學(xué)光;劉玉;;基于光纖Bragg光柵的濕度傳感器的設(shè)計與研究[A];2011西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2011年

10 鄧超;李揚;楊慕杰;;測定低濕環(huán)境濕度的聚電解質(zhì)/石墨烯復(fù)合濕度傳感器的制備及其濕敏特性研究[A];2011年全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會論文摘要集[C];2011年

相關(guān)重要報紙文章 前7條

1 重慶中易電測技術(shù)研究所;濕度傳感器與濕度變送模塊[N];電子報;2000年

2 吳瓊;高分子材料在濕度傳感器中的應(yīng)用[N];中國電子報;2000年

3 ;全數(shù)字三端式濕度傳感器研制成功[N];中國電子報;2002年

4 ;ABB新型紅外濕度傳感器面向紙業(yè)[N];消費日報;2010年

5 江西 李靖 編譯;3種濕度傳感器的應(yīng)用電路[N];電子報;2011年

6 重慶 潘建;集成溫度傳感器IH3602及其應(yīng)用[N];電子報;2001年

7 青化 摘譯;簡易濕度表[N];電子報;2010年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前6條

1 江凱;基于有機多孔聚合物的濕度傳感器的研究[D];吉林大學(xué);2016年

2 姚堯;氧化石墨烯的濕敏特性及其在微納濕度傳感器上的應(yīng)用[D];西南交通大學(xué);2013年

3 趙振剛;碳納米管濕度傳感器敏感特性研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

4 丁喜波;電容式濕度傳感器測試方法與測試系統(tǒng)研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2005年

5 王蕊;基于幾種介孔結(jié)構(gòu)材料的電阻型濕度傳感器的性能研究[D];吉林大學(xué);2010年

6 賀媛;BaTiO_3納米纖維濕度傳感性能的研究[D];吉林大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 杜鵬;基于高取向生長的納米TiO_2濕度傳感系統(tǒng)設(shè)計與實現(xiàn)[D];西南交通大學(xué);2015年

2 劉U，

本文編號：2380099