【摘要】：在雙排結(jié)構(gòu)納米時柵位移傳感器的研究基礎(chǔ)上,提出了一種單排差動結(jié)構(gòu)的新型納米時柵位移傳感器。通過直接構(gòu)造一個勻速運動的交變電場來產(chǎn)生行波信號,解決了雙排結(jié)構(gòu)所具有的串擾問題和安裝問題;采用差動感應極片來拾取信號,可有效地消除共模干擾。用微納加工工藝制作了一種多層薄膜的單排差動結(jié)構(gòu)的納米時柵傳感器樣機并進行了性能測試,最終在200 mm的量程范圍內(nèi)取得了±150 nm的測量精度。對比雙排結(jié)構(gòu)的納米時柵傳感器,這種新型的納米時柵傳感器測量精度、信號穩(wěn)定性及抗干擾能力得到明顯的提高,并且在尺寸減小的同時拓展了有效量程,因此在產(chǎn)品化的過程中更具有應用前景。
[Abstract]:Based on the research of double row nanogrid displacement sensor, a new type of nanogrid displacement sensor with single row differential structure is proposed. By constructing a uniform alternating electric field directly to generate traveling wave signal, the crosstalk problem and installation problem of double row structure are solved, and the common-mode interference can be effectively eliminated by using differential induction pole to pick up the signal. A multi-layer thin film single-row differential nanogrid sensor prototype was fabricated and its performance was tested. The measurement accuracy of 鹵150 nm was obtained in the range of 200 mm. Compared with the dual-row nanoscale time grating sensor, the measurement accuracy, signal stability and anti-interference ability of the new nano-time grating sensor have been improved obviously, and the effective range has been expanded while the size of the sensor has been reduced. Therefore, it has more application prospect in the process of production.
【作者單位】： 重慶大學機械傳動國家重點實驗室;合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;重慶理工大學機械檢測技術(shù)與裝備教育部工程研究中心;西安交通大學機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(51435002) 教育部新世紀優(yōu)秀人才支持計劃(NCET-13-1065) 重慶高校創(chuàng)新團隊(CXTDX201601029)項目資助
【分類號】：TP212

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本文編號：2344500