【摘要】：設(shè)計(jì)制備出三明治結(jié)構(gòu)的電容式柔性壓力傳感器,并對(duì)其性能進(jìn)行研究。該傳感器以銀納米線為電極材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)為柔性襯底,同時(shí)采用毛面玻璃和光面玻璃分別作為柔性襯底的制備模板,制備出微納結(jié)構(gòu)和平面結(jié)構(gòu)的PDMS薄膜。然后采用噴涂法制備Ag NWs/PDMS復(fù)合電極,以另外一層PDMS為介電層,將兩電極面對(duì)面封裝,得到電容式柔性壓力傳感器,最后系統(tǒng)研究了傳感器的電極微納結(jié)構(gòu)對(duì)器件性能的影響。本文研究表明,具有微納結(jié)構(gòu)的AgNWs/PDMS復(fù)合薄膜傳感器的靈敏度為1.0 k Pa~(-1),而平面結(jié)構(gòu)的Ag NWs/PDMS復(fù)合薄膜傳感器的靈敏度為0.6 k Pa~(-1),由此可知具有微納結(jié)構(gòu)的柔性襯底能夠顯著提高器件的靈敏度。
[Abstract]:The capacitive flexible pressure sensor with sandwich structure was designed and its performance was studied. Using silver nanowires as electrode material, poly (dimethylsiloxane) (PDMS) as flexible substrate, wool glass and smooth glass as template for preparation of flexible substrate, PDMS thin films with micro-nano structure and planar structure were prepared. Then the Ag NWs/PDMS composite electrode was prepared by spraying method and the other layer of PDMS was used as the dielectric layer to package the two electrodes face to obtain the capacitive flexible pressure sensor. Finally the effect of the electrode micro-nano structure of the sensor on the performance of the device was systematically studied. The present study shows that, The sensitivity of AgNWs/PDMS composite thin film sensor with micro-nano structure is 1.0 k Pa~ (-1), while that of planar Ag NWs/PDMS composite film sensor is 0.6 k Pa~ (-1).
【作者單位】： 電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61474016,61101030,61371046,61421002)
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：2253500