【摘要】：目前柵式位移傳感器主要有光柵、容柵、球柵、感應(yīng)同步器、旋轉(zhuǎn)變壓器、時(shí)柵等,提高其精度一般通過(guò)增加?xùn)啪�密度和讀數(shù)頭數(shù)量來(lái)實(shí)現(xiàn),或者依靠高精度母儀來(lái)檢測(cè)和修正誤差,但是這種方式對(duì)傳感器的加工和安裝要求高,或者傳感器精度長(zhǎng)時(shí)間保持性差。本文針對(duì)上述問(wèn)題,提出了基于等差相位構(gòu)建正交信號(hào)、實(shí)現(xiàn)多讀數(shù)頭測(cè)量、誤差特征參數(shù)自辨識(shí)和誤差自修正的新方法,該方法不增加加工和安裝難度,定子和轉(zhuǎn)子的槽數(shù)接近,多讀數(shù)頭有機(jī)集成在同一個(gè)定子,使讀數(shù)頭的一致性好。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:基于等差相位構(gòu)建多讀數(shù)頭誤差成分少,通過(guò)多讀數(shù)頭誤差特征參數(shù)自辨識(shí)和誤差自修正后,傳感器的誤差可達(dá)到±1.9″。
[Abstract]:At present, there are mainly grating, capacitive grating, ball grating, inductive synchronizer, rotary transformer, time grating and so on. Generally, the accuracy of grating displacement sensors can be improved by increasing the density of grid lines and the number of readout heads. Or it depends on high precision master to detect and correct the error, but this way requires high processing and installation of the sensor, or the accuracy of the sensor is poor for a long time. In order to solve the above problems, this paper presents a new method of constructing orthogonal signals based on the isometric phase to realize the measurement of multiple readout heads, self-identification of error characteristic parameters and self-correction of errors. This method does not increase the difficulty of machining and installation. The number of slots of the stator and rotor is close, and the multi-head is integrated in the same stator, so that the uniformity of the reading head is good. The experimental results show that the error components of multi-head based on isometric phase are less, and the error of sensor can reach 鹵1.9 "after self-identification and self-correction of error characteristic parameter of multi-head error.
【作者單位】： 重慶理工大學(xué);時(shí)柵傳感及先進(jìn)檢測(cè)技術(shù)重慶重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51275551) 重慶理工大學(xué)研究生創(chuàng)新基金(YCX2016216)
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：2165811