本文選題：高可靠性 + 壓力傳感器��； 參考：《儀表技術(shù)與傳感器》2017年10期

【摘要】：基于MEMS技術(shù)的壓阻式壓力傳感器在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,傳感器的可靠性設(shè)計是傳感器技術(shù)的研究熱點,針對汽車電子、石油化工等領(lǐng)域?qū)Ω呖煽啃詨毫鞲衅鞯男枨?提出了高可靠性壓力傳感器的設(shè)計方法。最后,通過可靠性強化試驗對設(shè)計的傳感器進行可靠性評價,試驗結(jié)果表明該傳感器具有極高的可靠性。
[Abstract]:The piezoresistive pressure sensor based on MEMS technology is widely used in the industrial field. The reliability design of the sensor is a hot spot in the research of sensor technology. The design method of high reliability pressure sensor is put forward in view of the demand of high reliability pressure sensors in automotive electronics and petrochemical industry. Finally, the reliability enhancement test is carried out. The reliability of the designed sensor is evaluated. The test results show that the sensor has high reliability.
【作者單位】： 北京強度環(huán)境研究所;
【分類號】：TP212

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