本文選題：厚度漸變結(jié)構(gòu) + 相鄰電容傳感器��； 參考：《機(jī)械工程學(xué)報(bào)》2017年18期

【摘要】：針對厚度漸變高分子結(jié)構(gòu)介電性能檢測問題,設(shè)計(jì)一種變間距叉指型相鄰電容傳感器。研究不同叉指個數(shù)和極板覆蓋率對等間距叉指相鄰電容傳感器信號強(qiáng)度和穿透深度的影響,確定了單對叉指單元的寬度范圍;研究單對叉指單元參數(shù)對相鄰電容傳感器性能的影響,得到單對叉指單元傳感器的穿透深度;根據(jù)待測結(jié)構(gòu)厚度變化規(guī)律,對組成叉指傳感器電極的單個叉指單元的寬度和間距進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)出變間距叉指型相鄰電容傳感器。仿真和試驗(yàn)結(jié)果表明,變間距叉指型相鄰電容傳感器的信號強(qiáng)度和靈敏度優(yōu)于等間距傳感器,該傳感器更適合漸變厚度結(jié)構(gòu)材料的介電性能檢測。
[Abstract]:In order to detect the dielectric properties of graded polymer structure, a kind of adjoining capacitance sensor with variable spacing is designed. The effects of the number of cross fingers and the equal distance of polar plate coverage on the signal intensity and penetration depth of the adjacent capacitance sensor are studied, and the width range of the single pair of cross finger elements is determined. The influence of single pair cross finger cell parameters on the performance of adjacent capacitance sensor is studied, and the penetration depth of single pair cross finger element sensor is obtained. The width and spacing of a single interDigital cell composed of the electrode of the cross finger sensor are optimized and the adjacent capacitance sensor with variable spacing is designed. The simulation and experimental results show that the signal strength and sensitivity of the adjacent capacitive sensor with variable spacing are better than those of the equidistant sensor, and the sensor is more suitable for the dielectric performance testing of the materials with graded thickness.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程與應(yīng)用電子技術(shù)學(xué)院;北京工業(yè)大學(xué)北京市精密測控技術(shù)與儀器工程技術(shù)研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11572010,11272017) 國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2016YFF0203002)資助項(xiàng)目
【分類號】：TP212

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本文編號：2072958