本文選題：時(shí)柵角位移傳感器 + 激光干涉儀　； 參考：《儀器儀表學(xué)報(bào)》2016年05期

【摘要】：針對(duì)研制時(shí)柵位移傳感器過(guò)程中的誤差標(biāo)定環(huán)節(jié),常規(guī)光柵傳感器精度不滿足要求的問(wèn)題,采用激光干涉儀作為誤差標(biāo)定基準(zhǔn),自主研制了基于激光干涉儀的直驅(qū)式時(shí)柵角位移傳感器誤差自動(dòng)標(biāo)定與修正系統(tǒng)。利用時(shí)柵角位移傳感器的多測(cè)頭結(jié)構(gòu)與誤差曲線等間距周期性分布的特性,以一個(gè)對(duì)極的誤差曲線重構(gòu)傳感器整周的誤差曲線,采用多項(xiàng)式擬合算法構(gòu)建了時(shí)柵角位移傳感器的誤差修正模型。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,誤差自動(dòng)標(biāo)定與修正系統(tǒng)可以快速、準(zhǔn)確地對(duì)時(shí)柵角位移傳感器進(jìn)行自動(dòng)誤差標(biāo)定與修正,修正后的時(shí)柵角位移傳感器的整周誤差達(dá)到±0.43″。
[Abstract]:In order to solve the problem that the accuracy of conventional grating sensor can not meet the requirement of error calibration during the development of grating displacement sensor, the laser interferometer is used as the standard of error calibration. An automatic error calibration and correction system for direct-drive time grating angular displacement sensor based on laser interferometer is developed. Based on the characteristics of the periodic distribution of the structure of multi-probe and the equal spacing of error curve of the time grating angular displacement sensor, the whole cycle error curve of the sensor is reconstructed with an error curve of the opposite pole. The error correction model of time grating angular displacement sensor is constructed by polynomial fitting algorithm. The experimental results show that the automatic error calibration and correction system can be used to calibrate and correct the error of the time grating angular displacement sensor quickly and accurately, and the whole cycle error of the modified time grating angular displacement sensor is 鹵0.43 ".
【作者單位】： 重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測(cè)技術(shù)與裝備教育部工程研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51205434,51305478) 重慶市教委科學(xué)技術(shù)研究項(xiàng)目(KJ1400904) 重慶市科技計(jì)劃項(xiàng)目(cstc2014jeyj A70003)資助
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：2041955