本文選題：時柵角位移傳感器 + 激光干涉儀��； 參考：《儀器儀表學(xué)報》2016年05期

【摘要】：針對研制時柵位移傳感器過程中的誤差標定環(huán)節(jié),常規(guī)光柵傳感器精度不滿足要求的問題,采用激光干涉儀作為誤差標定基準,自主研制了基于激光干涉儀的直驅(qū)式時柵角位移傳感器誤差自動標定與修正系統(tǒng)。利用時柵角位移傳感器的多測頭結(jié)構(gòu)與誤差曲線等間距周期性分布的特性,以一個對極的誤差曲線重構(gòu)傳感器整周的誤差曲線,采用多項式擬合算法構(gòu)建了時柵角位移傳感器的誤差修正模型。實驗結(jié)果表明,誤差自動標定與修正系統(tǒng)可以快速、準確地對時柵角位移傳感器進行自動誤差標定與修正,修正后的時柵角位移傳感器的整周誤差達到±0.43″。
[Abstract]:In order to solve the problem that the accuracy of conventional grating sensor can not meet the requirement of error calibration during the development of grating displacement sensor, the laser interferometer is used as the standard of error calibration. An automatic error calibration and correction system for direct-drive time grating angular displacement sensor based on laser interferometer is developed. Based on the characteristics of the periodic distribution of the structure of multi-probe and the equal spacing of error curve of the time grating angular displacement sensor, the whole cycle error curve of the sensor is reconstructed with an error curve of the opposite pole. The error correction model of time grating angular displacement sensor is constructed by polynomial fitting algorithm. The experimental results show that the automatic error calibration and correction system can be used to calibrate and correct the error of the time grating angular displacement sensor quickly and accurately, and the whole cycle error of the modified time grating angular displacement sensor is 鹵0.43 ".
【作者單位】： 重慶理工大學(xué)機械檢測技術(shù)與裝備教育部工程研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51205434,51305478) 重慶市教委科學(xué)技術(shù)研究項目(KJ1400904) 重慶市科技計劃項目(cstc2014jeyj A70003)資助
【分類號】：TP212

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本文編號：2041955