本文選題：壓電式壓力傳感器 + 納米纖維�。� 參考：《傳感器與微系統(tǒng)》2016年01期

【摘要】：為研究多鐵納米纖維在壓力傳感器上的應(yīng)用,基于多鐵納米纖維敏感材料,利用MEMS技術(shù)、靜電紡絲技術(shù),設(shè)計(jì)制作了一種壓電式壓力傳感器。通過對單根納米纖維壓電特性的有限元分析,得出納米纖維直徑越小,長度越大,即電極間距越大,纖維端電勢越高,靈敏度越好。設(shè)計(jì)了傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸和工藝過程,制作出了傳感器樣片。分析了在深硅刻蝕中掩蔽層保護(hù)出現(xiàn)的問題,提出了可行的工藝方法。
[Abstract]:In order to study the application of multi-iron nanofibers in pressure sensors, a piezoelectric pressure sensor was designed and fabricated based on the sensitive materials of multi-iron nanofibers, using MEMS technology and electrostatic spinning technology. Through the finite element analysis of the piezoelectric properties of a single nanofiber, it is concluded that the smaller the diameter and the greater the length of the nanofiber, the greater the electrode spacing, the higher the potential at the fiber end and the better the sensitivity. The structure and process of the sensor are designed, and the sensor sample is made. The problems of masking layer protection in deep silicon etching are analyzed, and the feasible process methods are put forward.
【作者單位】： 北方工業(yè)大學(xué)機(jī)械與材料工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375017)
【分類號】：TP212

【參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1883277