本文選題：光纖傳感器 + 法布里-珀羅干涉儀�。� 參考：《物理學(xué)報(bào)》2017年07期

【摘要】：光纖法布里-珀羅干涉溫度和壓力傳感器具有靈敏度高、制作簡單、成本低、體積小和抗電磁干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),已被廣泛應(yīng)用于軍事和民用領(lǐng)域.在某些環(huán)境惡劣,如具有強(qiáng)電磁干擾和腐蝕性,或提供給傳感器的安裝空間非常有限的特殊工業(yè)領(lǐng)域,微型光纖溫度和壓力傳感器發(fā)揮著重要的作用,國內(nèi)外諸多高校、科研院所都在對其進(jìn)行研究.本文綜述了光纖法布里-珀羅干涉儀的基本原理、制備技術(shù)、及其壓力和溫度傳感應(yīng)用的研究進(jìn)展.詳細(xì)介紹了濕法化學(xué)腐蝕制備法、電弧放電制備法、飛秒激光制備法、聚合物輔助制備法等常見光纖法布里-珀羅腔傳感器的制作工藝,分析了不同制作工藝的優(yōu)缺點(diǎn);詳細(xì)介紹了光纖法布里-珀羅干涉儀在溫度傳感、壓力傳感和溫壓一體傳感領(lǐng)域的應(yīng)用;最后對光纖法布里-珀羅干涉溫度壓力傳感器的發(fā)展進(jìn)行了總結(jié)和展望.
[Abstract]:Optical fiber Fabry-Perot interference temperature and pressure sensors have been widely used in military and civil fields because of their high sensitivity, simple fabrication, low cost, small size and strong ability to resist electromagnetic interference.In some special industrial fields where the environment is harsh, such as strong electromagnetic interference and corrosion, or very limited installation space for sensors, micro-fiber temperature and pressure sensors play an important role in many colleges and universities at home and abroad.Research institutes are studying it.The basic principle, fabrication technology, pressure and temperature sensing applications of fiber Fabry-Perot interferometer are reviewed in this paper.The fabrication techniques of common optical fiber Fabry-Perot cavity sensors, such as wet chemical etching, arc discharge, femtosecond laser and polymer assisted fabrication, are introduced in detail. The advantages and disadvantages of different fabrication techniques are analyzed.The application of optical fiber Fabry-Perot interferometer in temperature sensing, pressure sensing and temperature-pressure sensing is introduced in detail. Finally, the development of fiber Fabry-Perot interferometric temperature and pressure sensor is summarized and prospected.
【作者單位】： 深圳大學(xué)光電工程學(xué)院光電子器件與系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:61635007,61425007,61377090,61575128) 廣東省自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:2014A030308007,2014B050504010,2015B010105007,2015A030313541) 深圳市科技創(chuàng)新委員會項(xiàng)目(批準(zhǔn)號:GJHZ2015031309375575,JCYJ20160520163134575,JCYJ20160427104925452) 珠江學(xué)者項(xiàng)目資助的課題~~
【分類號】：TP212

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本文編號：1744419