發(fā)布時(shí)間：2018-04-08 23:00

  本文選題：直線光柵尺　切入點(diǎn)：誤差補(bǔ)償　出處：《組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù)》2017年12期

【摘要】：文章主要研究影響光柵尺測(cè)量精度的因素,探索提高測(cè)量精度的途徑。通過(guò)研究影響光柵尺測(cè)量精度的因素分析了其靜態(tài)誤差模型;然后,通過(guò)設(shè)計(jì)可調(diào)的光柵尺誤差檢測(cè)平臺(tái)并結(jié)合優(yōu)化的測(cè)量方案對(duì)各個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行了大量的誤差檢測(cè),并分析了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)測(cè)量誤差的統(tǒng)計(jì)特性,再對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行正態(tài)分布檢驗(yàn),獲得了較為準(zhǔn)確真實(shí)的光柵尺測(cè)量誤差曲線,驗(yàn)證了其靜態(tài)誤差模型;最終在光柵尺數(shù)顯系統(tǒng)分別采用全程線性補(bǔ)償及分段線性補(bǔ)償方法對(duì)光柵尺測(cè)量誤差進(jìn)行修正。實(shí)驗(yàn)結(jié)果經(jīng)第三方計(jì)量機(jī)構(gòu)檢測(cè)表明:經(jīng)一次全程線性補(bǔ)償后,在直線光柵尺90mm測(cè)量長(zhǎng)度內(nèi),測(cè)量精度由0~19.42μm提高到-3.26~1.32μm,經(jīng)二次分段線性補(bǔ)償后,測(cè)量精度提高到-1.453~0.9332μm。
[Abstract]:This paper mainly studies the factors affecting the measurement accuracy of the grating, explore a way to improve the measurement accuracy. The static error model is analyzed by the study of factors affecting the measurement accuracy of the grating; then, grating error detection platform through the design of adjustable for each measurement point of error detection based measurement scheme optimization, and analysis of the statistical characteristics of each point of the measuring error, and then the test results were normal distribution test, the measurement error of grating curve is more accurate, validated the static error model; finally the grating digital display system uses the whole linear compensation and piecewise linear compensation method of measurement error correction grating by the third party. The experimental results show that the detection mechanism of measuring a full linear compensation, the linear grating 90mm measurement range, measurement accuracy by 0~1 9.42 mu m is raised to -3.26~1.32 m. After two piecewise linear compensation, the measurement accuracy is improved to -1.453~0.9332 mu m.

【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)廣東省微納加工技術(shù)與整備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：廣東省科技計(jì)劃(2013B011301005) 東莞市產(chǎn)學(xué)研項(xiàng)目(2013509109101) 國(guó)家自然科學(xué)基金(51305084)
【分類(lèi)號(hào)】：TG806;TP212

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