本文選題：共聚焦　切入點：分光瞳　出處：《儀器儀表學(xué)報》2017年09期

【摘要】：為了提高現(xiàn)有共聚焦傳感技術(shù)的軸向分辨力、實現(xiàn)微觀形貌的高精度測量,在提出分光瞳差動共聚焦傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上,對其關(guān)鍵參數(shù)優(yōu)化理論進(jìn)行了進(jìn)一步研究,并研制了一種具有最優(yōu)參數(shù)的分光瞳差動共聚焦顯微傳感器,其融合了分光瞳差動共聚焦顯微技術(shù)和基于可編輯探測器件的虛擬針孔技術(shù),利用探測區(qū)域偏移可使分光瞳共聚焦顯微技術(shù)軸向特性曲線產(chǎn)生相移這一特性,沿特定方向在探測面上對稱設(shè)置兩個虛擬針孔,通過探測它們的強度響應(yīng)并進(jìn)行差動處理實現(xiàn)高軸向分辨力、高定位精度測量。對所研制的傳感器進(jìn)行了軸向響應(yīng)特性及傳感器非線性驗證,給出了其軸向相對位移測量公式,還利用所研傳感器對實際的高度標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行了測量,經(jīng)實驗驗證,所研傳感器軸向分辨力可達(dá)5 nm,橫向分辨力為0.82μm,為微細(xì)結(jié)構(gòu)三維表面的高精度測量提供了一種新的傳感技術(shù)及系統(tǒng)。
[Abstract]:In order to improve the axial resolution of confocal sensor technology, realize the high precision measurement of micro topography, based on proposed pupil differential confocal sensor technology, the key parameter optimization theory was further studied, and developed a pupil with optimum parameters into differential confocal sensor, the the fusion of pupil differential confocal microscopy and detection device based on programmable virtual pinhole technology, the detection area can be divided into offset pupil confocal technique characteristics of micro axial curve of phase shift this characteristic, along a particular direction in the detection surface symmetrically arranged on the two virtual pinhole, by detecting their response strength and differential treatment to achieve high axial resolution, high positioning accuracy measurement. The sensor nonlinear characteristics and verification of axial response of the designed sensor, gives the axial The relative displacement measurement formula, by research on the actual sensor height standard samples were measured and verified by experiment, the research of sensor axial resolution of 5 nm, the lateral resolution is 0.82 m, provides a new sensing technology and system for high precision measurement of 3D surface micro structure.

【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)光電測試技術(shù)北京市重點實驗室;北京信息科技大學(xué)生物醫(yī)學(xué)檢測技術(shù)及儀器北京實驗室;北京理工大學(xué)光電學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點項目(51535002) 教育部“長江學(xué)者和創(chuàng)新團(tuán)隊”發(fā)展計劃(IRT-16R07) 北京市自然科學(xué)基金青年項目(4164084) 北京市教育委員會科技計劃一般項目(KM201611232006)資助
【分類號】：TH742;TP212

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3 田明麗,袁書卿,翟衛(wèi)青;共焦顯微系統(tǒng)中引入圓環(huán)光瞳對成像特性的影響[J];平頂山師專學(xué)報;2003年05期

4 丁洪萍,李慶輝,鄒文藝;Toraldo光瞳濾波器對光學(xué)系統(tǒng)成像分辨率的影響[J];光電子·激光;2004年11期

5 徐安喜 ,王子余;光學(xué)系統(tǒng)漸暈光瞳的快速算法[J];浙江大學(xué)學(xué)報;1986年04期

6 吳泉英;錢霖;沈為民;;復(fù)合三子鏡稀疏孔徑光瞳結(jié)構(gòu)的研究[J];光學(xué)學(xué)報;2006年02期

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本文編號：1683446