本文選題：測量　切入點(diǎn)：光柵　出處：《光學(xué)學(xué)報(bào)》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：以提高共焦差動(dòng)并行激光直寫中光束刻寫質(zhì)量為目標(biāo),分析設(shè)計(jì)了調(diào)平聚焦伺服控制系統(tǒng)。采用柱面鏡作為像散元件,與四象限光電探測器結(jié)合,利用差動(dòng)像散檢測方法和比例積分微分(PID)反饋算法減少光源和外部干擾的誤差,獲得高靈敏度、高精度、高穩(wěn)定性的探測曲線。通過優(yōu)化光學(xué)設(shè)計(jì)參數(shù),本系統(tǒng)能獲得具有高靈敏性與一致穩(wěn)定性的探測曲線,探測范圍為3μm,靜態(tài)聚焦誤差可達(dá)±5.0nm;動(dòng)態(tài)聚焦壓電陶瓷(PZT)伸長量可保證在焦深范圍內(nèi),焦點(diǎn)位置辨別精度可達(dá)納米量級,可探測調(diào)平臺(tái)的傾斜角和俯仰角在0.01mrad左右。利用該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)光柵的刻寫,進(jìn)一步為更大尺寸、更高密度的光柵刻寫提供依據(jù)。
[Abstract]:Aiming at improving the quality of laser beam writing in confocal differential parallel direct writing, a leveling and focusing servo control system is designed and analyzed. The cylindrical mirror is used as astigmatic element and combined with a four-quadrant photodetector. The differential astigmatic detection method and the proportional integral differential differential (PID) feedback algorithm are used to reduce the errors of light source and external interference, and the detection curves with high sensitivity, high accuracy and high stability are obtained. The optical design parameters are optimized. The system can obtain the detection curve with high sensitivity and uniform stability. The detection range is 3 渭 m and the static focusing error can reach 鹵5.0 nm. The dynamic focusing piezoelectric ceramic PZT elongation can be guaranteed to be of nanometer order of magnitude in the range of focal depth. The tilt angle and pitch angle of the detectable adjustable platform are about 0.01 Mrad. The grating writing can be realized by using this system, which provides the basis for the larger size and higher density grating writing.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家科技部項(xiàng)目(2012YQ170004) 國家自然科學(xué)基金(61307064)
【分類號(hào)】：TP273

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1580147