發(fā)布時間：2018-01-11 19:32

  本文關鍵詞：高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢　出處：《遙測遙控》2016年06期 　論文類型：期刊論文

  更多相關文章： 高溫 壓力傳感器 研究現(xiàn)狀 趨勢

【摘要】：高溫壓力傳感器廣泛應用于火箭發(fā)動機、航空發(fā)動機、重型燃氣輪機、燃煤燃氣鍋爐等動力設備燃燒室內的壓力監(jiān)測。經(jīng)過二十多年的研究,高溫壓力傳感技術領域成果豐富。以敏感芯片的主體材料分類,對高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀進行論述,重點分析基于SOI、SiC、藍寶石、共燒陶瓷、壓電晶體、SiCN陶瓷等材料的高溫壓力傳感器的特點與局限以及國內外發(fā)展現(xiàn)狀。最后展望高溫壓力傳感器的發(fā)展趨勢,并對國內高溫壓力傳感器的發(fā)展方向提出建議。
[Abstract]:High temperature pressure sensor is widely used in rocket engines, aircraft engines, gas turbine, pressure monitoring of combustion gas boiler coal-fired power equipment. After more than 20 years of research, the technology field of high temperature pressure sensor. The main material with rich classification sensitive chip, discussed the current situation of high temperature pressure sensor, based on the analysis of the key SOI, SiC, sapphire, cofired ceramics, piezoelectric crystal, SiCN ceramic materials such as high temperature pressure sensor characteristics and limitations as well as the domestic and foreign development status. Finally the prospect of development trend of high temperature pressure sensor, and the development direction of the domestic high temperature pressure sensor is proposed.

【作者單位】： 航天長征火箭技術有限公司;中國航天時代電子公司;中國空間技術研究院;廈門大學;
【基金】：總裝預研課題(51323040122)
【分類號】：TP212
【正文快照】： 引言火箭發(fā)動機、航空發(fā)動機、重型燃氣輪機、燃煤燃氣鍋爐等動力設備的主要部件處在高溫惡劣環(huán)境,燃燒室溫度甚至超過2000℃。利用高溫傳感器可對噴嘴燃燒室、壓氣機、葉片等關鍵部位的壓力、溫度等參量進行實時監(jiān)測,提高燃燒性能和推進效率,并對部件健康狀態(tài)進行評估[1~4]。

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本文編號：1410927