本文關(guān)鍵詞：高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)　出處：《遙測(cè)遙控》2016年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)備燃燒室內(nèi)的壓力監(jiān)測(cè)。經(jīng)過二十多年的研究,高溫壓力傳感技術(shù)領(lǐng)域成果豐富。以敏感芯片的主體材料分類,對(duì)高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀進(jìn)行論述,重點(diǎn)分析基于SOI、SiC、藍(lán)寶石、共燒陶瓷、壓電晶體、SiCN陶瓷等材料的高溫壓力傳感器的特點(diǎn)與局限以及國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀。最后展望高溫壓力傳感器的發(fā)展趨勢(shì),并對(duì)國(guó)內(nèi)高溫壓力傳感器的發(fā)展方向提出建議。
[Abstract]:High temperature pressure sensor is widely used in rocket engines, aircraft engines, gas turbine, pressure monitoring of combustion gas boiler coal-fired power equipment. After more than 20 years of research, the technology field of high temperature pressure sensor. The main material with rich classification sensitive chip, discussed the current situation of high temperature pressure sensor, based on the analysis of the key SOI, SiC, sapphire, cofired ceramics, piezoelectric crystal, SiCN ceramic materials such as high temperature pressure sensor characteristics and limitations as well as the domestic and foreign development status. Finally the prospect of development trend of high temperature pressure sensor, and the development direction of the domestic high temperature pressure sensor is proposed.

【作者單位】： 航天長(zhǎng)征火箭技術(shù)有限公司;中國(guó)航天時(shí)代電子公司;中國(guó)空間技術(shù)研究院;廈門大學(xué);
【基金】：總裝預(yù)研課題(51323040122)
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 引言火箭發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)備的主要部件處在高溫惡劣環(huán)境,燃燒室溫度甚至超過2000℃。利用高溫傳感器可對(duì)噴嘴燃燒室、壓氣機(jī)、葉片等關(guān)鍵部位的壓力、溫度等參量進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),提高燃燒性能和推進(jìn)效率,并對(duì)部件健康狀態(tài)進(jìn)行評(píng)估[1~4]。

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6 ;奇石樂擴(kuò)展了其沖壓力傳感器系列[J];電機(jī)與控制應(yīng)用;2010年01期

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3 成都 青化 摘譯;壓力傳感器[N];電子報(bào);2008年

4 河南許昌技術(shù)經(jīng)濟(jì)學(xué)校 李德彥;汽車常用壓力傳感器與檢測(cè)[N];電子報(bào);2009年

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6 香港理工大學(xué)紡織與制衣學(xué)系 陶肖明 舒琳 華濤 李瑩 麥愷瑩;基于織物壓力傳感器的智能鞋系統(tǒng)[N];中國(guó)紡織報(bào);2013年

7 華戈 摘譯;振動(dòng)壓力傳感器[N];電子報(bào);2008年

8 本報(bào)記者 逄丹;加速推進(jìn)壓力傳感器在物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用[N];通信產(chǎn)業(yè)報(bào);2014年

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3 陳德勇;微機(jī)械諧振梁壓力傳感器研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（電子學(xué)研究所）;2002年

4 趙新;基于硅波導(dǎo)的新型光學(xué)壓力傳感器研究[D];復(fù)旦大學(xué);2012年

5 呂曉洲;用于電子皮膚的新型壓力傳感器的研究[D];東華大學(xué);2012年

6 馮志剛;自確認(rèn)壓力傳感器的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

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9 楊先軍;柔性力敏傳感及其應(yīng)用技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

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本文編號(hào)：1410927