本文關(guān)鍵詞：新型體聲波傳感器讀出電路的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

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【摘要】：為了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證此前通過仿真驗(yàn)證的基于六端口反射計(jì)的新型BAW傳感器讀出電路的方案的可行性,本文制作了新型BAW傳感器讀出電路并對(duì)其進(jìn)行了測(cè)試。以串聯(lián)諧振頻率約為1.5 GHz的薄膜體聲波諧振器(FBAR)為待測(cè)器件(DUT),設(shè)計(jì)、制作了一種能夠滿足該FBAR諧振頻率測(cè)量帶寬(1.3 GHz~1.7 GHz)要求的PCB上微帶六端口網(wǎng)絡(luò)和檢波器,配合射頻信號(hào)發(fā)生器和示波器,獲得了模擬DUT(50ΩSMA匹配負(fù)載)的反射系數(shù)-頻率(Γ-f)曲線測(cè)量結(jié)果。與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,兩者吻合較好,實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了"基于六端口反射計(jì)的BAW傳感器讀出電路"可用于FBAR諧振頻率的測(cè)量。本文工作對(duì)實(shí)用化BAW傳感器的研制和片上矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA-on-Chip)的設(shè)計(jì)都有借鑒意義。
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;核探測(cè)與核電子學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(中國科學(xué)院高能物理研究所);西南科技大學(xué)信息工程學(xué)院;重慶大學(xué)新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61574131) 中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目(2014ZA001) 核探測(cè)與核電子學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放課題基金項(xiàng)目(2016KF02) 西南科技大學(xué)特殊環(huán)境機(jī)器人技術(shù)四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(14zxtk01)
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 薄膜體聲波諧振器FBAR(Thin-Film Bulk Acous-作為讀出電路核心的六端口網(wǎng)絡(luò),其工作頻帶的中tic Wave Resonator)具有靈敏度高、工作頻率高和功心頻率與FBAR的空載諧振頻率(本例中即~1.5率損耗低等特點(diǎn),是實(shí)現(xiàn)高精度和高靈敏度傳感器GHz)一致,實(shí)物如圖中的PCB微帶電路照片所示

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1302474