本文關(guān)鍵詞：SOI寬溫區(qū)微型智能壓力傳感器的設(shè)計與實現(xiàn)

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【摘要】：該文首先介紹了SOI壓阻式壓力傳感器的基本原理;其次,通過敏感芯片制備工藝、芯體的封裝工藝、智能化溫度補償技術(shù)等方面的研究,設(shè)計了基于MEMS的SOI寬溫區(qū)微型智能壓力傳感器的工藝技術(shù);第三,詳細介紹南京盛業(yè)達公司研制SOI寬溫區(qū)微型智能壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和性能。結(jié)果表明,該產(chǎn)品具有寬溫度工作范圍、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、外形美觀等優(yōu)良特性。
【作者單位】： 南京盛業(yè)達電子有限公司;
【分類號】：TP212
【正文快照】： 微電子機械系統(tǒng)MEMS(micro electro mechan-ical system)技術(shù)屬于跨學(xué)科高新技術(shù)研究領(lǐng)域,在微電子制造工藝基礎(chǔ)上,硅微結(jié)構(gòu)的MEMS加工工藝吸收融合其他加工工藝,實現(xiàn)各種微機械結(jié)構(gòu),應(yīng)用MEMS技術(shù)研制新型的硅氧化物絕緣體SOI(silicon on insulator)壓力傳感器。SOI寬溫區(qū)壓力

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本文編號：1241351