本文關(guān)鍵詞：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的熔接式全石英光纖EFPI高靜壓傳感器

  更多相關(guān)文章： 傳感器 壓力 非本征型法布里-珀羅干涉儀 石英毛細(xì)管

【摘要】：介紹了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的熔接式全石英光纖非本征型法布里-珀羅干涉儀(EFPI)高靜壓傳感器,對(duì)傳感器的壓力效應(yīng)進(jìn)行了理論分析,給出了傳感器的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和制作過(guò)程。和傳統(tǒng)EFPI傳感器相比,該傳感器具有長(zhǎng)腔長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作工藝簡(jiǎn)易、應(yīng)用靈活方便等優(yōu)點(diǎn),可以用于較高靜態(tài)壓力的測(cè)量。建立了傳感解調(diào)系統(tǒng),對(duì)壓力進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)量精確度高,穩(wěn)定性好。同時(shí)進(jìn)行了溫度敏感度測(cè)量實(shí)驗(yàn),溫度敏感系數(shù)約為0.72nm/℃,傳感器的腔長(zhǎng)溫度線性度好,結(jié)果顯示傳感器溫度交叉敏感度低。在0~20 MPa壓力測(cè)量范圍內(nèi),該傳感器的壓力腔長(zhǎng)靈敏度可以達(dá)到21nm/MPa,連續(xù)10h動(dòng)態(tài)測(cè)量條件下,測(cè)量偏差為0.2%FS。
【作者單位】： 大連理工大學(xué)物理與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 傳感器 壓力 非本征型法布里-珀羅干涉儀 石英毛細(xì)管
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61137005,11474043) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(DUT16TD17)
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 由于其自身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),非本征型法布里-珀羅干涉儀(EFPI)傳感器[1]成為一種適合進(jìn)行靜態(tài)壓力測(cè)量[2]的光纖傳感器。EFPI傳感器有以下4種常用的制作方法:1)在傳感器兩端的單模光纖(SMF)上鍍高反射膜,然后再進(jìn)行光纖之間的熔接,此法操作難度極高,難以精確控制膜片厚度;2)利用化

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 蔡茜瑋;江毅;丁文慧;;一種光纖EFPI高溫傳感器[J];光學(xué)技術(shù);2012年01期

2 李東升,梁大開,潘曉文;基于EFPI和FBG傳感器的光纖智能夾層系統(tǒng)研究[J];光電子·激光;2005年05期

3 ;[J];;年期

，

本文編號(hào)：1022948