本文關(guān)鍵詞：Pd-Cr薄膜應(yīng)變計(jì)的研制

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【摘要】：采用射頻磁控濺射法在鎳基高溫合金拉伸件上制備Pd-Cr薄膜應(yīng)變計(jì)。研究了800℃大氣退火對(duì)Pd-Cr薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌、方塊電阻的影響,并且測(cè)試了Pd-Cr薄膜應(yīng)變計(jì)的電學(xué)及應(yīng)變性能。結(jié)果表明:Pd-Cr薄膜是一種結(jié)構(gòu)為面心立方的單相材料。800℃大氣退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一層致密的Cr2O3,且薄膜方阻減小。在20~400℃范圍內(nèi),應(yīng)變計(jì)電阻同溫度呈線(xiàn)性變化,電阻溫度系數(shù)(TCR)約為230~260 ppm/℃。室溫和300℃下的靈敏系數(shù)(GF)分別為1.97和2.63。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 Pd-Cr 薄膜應(yīng)變計(jì) 靈敏系數(shù) 電阻溫度系數(shù)
【分類(lèi)號(hào)】：TH823.3
【正文快照】： 0引言薄膜應(yīng)變計(jì)是采用真空沉積和濺射方法把敏感薄膜直接沉積到結(jié)構(gòu)件表面制成的應(yīng)變計(jì),與傳統(tǒng)的絲式和箔式應(yīng)變計(jì)相比,薄膜應(yīng)變計(jì)厚度在μm量級(jí),響應(yīng)速度快、測(cè)試準(zhǔn)確度高、靈敏度高。選擇合適的敏感材料制備的薄膜應(yīng)變計(jì),可以應(yīng)用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片在高溫、高壓、強(qiáng)烈震

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本文編號(hào)：993204