本文關(guān)鍵詞：Pd-Cr薄膜應(yīng)變計的研制

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【摘要】：采用射頻磁控濺射法在鎳基高溫合金拉伸件上制備Pd-Cr薄膜應(yīng)變計。研究了800℃大氣退火對Pd-Cr薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌、方塊電阻的影響,并且測試了Pd-Cr薄膜應(yīng)變計的電學及應(yīng)變性能。結(jié)果表明:Pd-Cr薄膜是一種結(jié)構(gòu)為面心立方的單相材料。800℃大氣退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一層致密的Cr2O3,且薄膜方阻減小。在20~400℃范圍內(nèi),應(yīng)變計電阻同溫度呈線性變化,電阻溫度系數(shù)(TCR)約為230~260 ppm/℃。室溫和300℃下的靈敏系數(shù)(GF)分別為1.97和2.63。
【作者單位】： 電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 Pd-Cr 薄膜應(yīng)變計 靈敏系數(shù) 電阻溫度系數(shù)
【分類號】：TH823.3
【正文快照】： 0引言薄膜應(yīng)變計是采用真空沉積和濺射方法把敏感薄膜直接沉積到結(jié)構(gòu)件表面制成的應(yīng)變計,與傳統(tǒng)的絲式和箔式應(yīng)變計相比,薄膜應(yīng)變計厚度在μm量級,響應(yīng)速度快、測試準確度高、靈敏度高。選擇合適的敏感材料制備的薄膜應(yīng)變計,可以應(yīng)用于航空發(fā)動機渦輪葉片在高溫、高壓、強烈震

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本文編號：993204