本文關(guān)鍵詞：串聯(lián)電容對(duì)MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡吸合角的影響

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【摘要】：采用對(duì)比扭轉(zhuǎn)微鏡的靜電力矩與機(jī)械回復(fù)力矩隨角度的變化規(guī)律的方法,對(duì)串聯(lián)電容后,扭轉(zhuǎn)微鏡吸合角的變化規(guī)律進(jìn)行了數(shù)值仿真和解析分析。結(jié)果表明:扭轉(zhuǎn)微鏡在保持尺寸參數(shù)的前提下,串聯(lián)電容后,其吸合角增大,系統(tǒng)穩(wěn)定性提高;串聯(lián)的電容值不同,扭轉(zhuǎn)微鏡的吸合角也不同,且隨著串聯(lián)電容值的增大,吸合角逐漸減小。為扭轉(zhuǎn)微鏡在尺寸參數(shù)已經(jīng)固定的情況下,如何擴(kuò)展其偏轉(zhuǎn)角范圍提供了理論指導(dǎo)。
【作者單位】： 江西理工大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電 扭轉(zhuǎn)微鏡 電容 吸合角
【基金】：江西省教育廳科技項(xiàng)目(GJJ11468)資助 江西理工大學(xué)博士啟動(dòng)基金資助 江蘇惠通集團(tuán)公司橫向課題“NIR光譜儀”資助
【分類號(hào)】：TH74;TH-39
【正文快照】： 0引言隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)發(fā)展[1],靜電力驅(qū)動(dòng)的扭轉(zhuǎn)微鏡逐漸廣泛應(yīng)用于投影顯示[2]、光譜儀[3]、現(xiàn)代光通信[4]等方面。從上世紀(jì)八十年代末開始,研究人員開展了對(duì)靜電力驅(qū)動(dòng)的扭轉(zhuǎn)微鏡的制作工藝、運(yùn)動(dòng)特性以及應(yīng)用等方面的研究,發(fā)現(xiàn)了吸合效應(yīng),并利用物理模型對(duì)其吸合

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