本文關(guān)鍵詞：拼接干涉儀在控制裝校面形中的應(yīng)用

  更多相關(guān)文章： 子孔徑拼接 象散 局部面形 裝校監(jiān)測(cè) 全口徑面形

【摘要】：通過(guò)對(duì)比大口徑光學(xué)元件夾持不當(dāng)時(shí)全口徑與局部口徑之間的圖像關(guān)系,研究局部面形控制的新方式。并與高精度的大口徑干涉儀進(jìn)行比對(duì)測(cè)試,驗(yàn)證拼接干涉儀的測(cè)試精度。實(shí)驗(yàn)表明,拼接干涉儀局部測(cè)試精度可達(dá)50 nm(PV值).空間分辨力高達(dá)5 mm~(-1),可以實(shí)現(xiàn)中頻段的裝校臨控。使用拼接干涉儀掃描測(cè)試全口徑面形,測(cè)試不確定度小于100nm.與φ600 mm的大口徑干涉儀測(cè)試結(jié)果差別小于0.04λ(波長(zhǎng)λ=632.8 nm)。
【作者單位】： 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 子孔徑拼接 象散 局部面形 裝校監(jiān)測(cè) 全口徑面形
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 高功率固體激光驅(qū)動(dòng)器需要大it的大口徑平面光學(xué)元件.這些元件徑厚比大,裝校后容易產(chǎn)生形變。為了保證光學(xué)元件裝校后仍然保持高精度面形.元件上架前都要進(jìn)行裝校應(yīng)力控制,優(yōu)化裝校參數(shù)。目前大口徑光學(xué)元件裝校應(yīng)力控制主要使用大n徑移扣式干涉儀,精度高,但大口徑干涉儀造價(jià)

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本文編號(hào)：977866