本文關(guān)鍵詞：超光滑表面疵病的顯微散射檢測方法

  更多相關(guān)文章： 疵病檢測 光散射 圖像處理

【摘要】：現(xiàn)代生產(chǎn)和制造業(yè)中,一些高科技產(chǎn)業(yè)對精密儀器表面精度的要求越來越高,精密元件表面疵病對系統(tǒng)性能的影響很大,可能造成系統(tǒng)癱瘓,使其不能正常工作,這就使得表面疵病的檢測勢在必行,如何做到高效化、自動化、數(shù)字化的檢測是一個亟待解決的問題。本論文結(jié)合了航天九院對陀螺光腔內(nèi)反鏡的檢測要求,在基于光散射效應(yīng)的表面疵病檢測方法的基礎(chǔ)上,研制了一套利用CCD散射顯微鏡檢測超光滑表面的系統(tǒng),該系統(tǒng)采用半導(dǎo)體激光光源,使光線以一定的角度入射到陀螺光腔內(nèi)反鏡上,使其表面疵病散射光進(jìn)入顯微成像系統(tǒng),在暗背景下得到亮像,方便了圖像的后期處理,該方案解決了前階段通過員工裸眼在顯微鏡下對疵病進(jìn)行觀察,造成效率低下,人眼疲勞,隨機(jī)誤差大等問題；采用四軸電動旋轉(zhuǎn)平移臺,通過計(jì)算機(jī)控制實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的精確移動與定位,實(shí)現(xiàn)了該檢測系統(tǒng)的自動化、高效化、數(shù)字化,該旋轉(zhuǎn)臺可保證入射光從任意角度照射到元件表面上,避免了某些疵病在一定角度入射光照射下散射光太弱,進(jìn)入不到成像系統(tǒng),不能在暗背景下形成亮像的問題；對采集到的圖像進(jìn)行了中值濾波、高斯濾波的處理,把多角度入射光照射下同一疵病的圖像進(jìn)行融合,通過邊緣檢測實(shí)現(xiàn)了對疵病位置的數(shù)字化標(biāo)注。
【關(guān)鍵詞】：疵病檢測 光散射 圖像處理
【學(xué)位授予單位】：南京理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TH74
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 1 緒論7-10
• 1.1 表面疵病的定義7-8
• 1.2 表面疵病的危害8
• 1.3 表面疵病檢測的發(fā)展8-9
• 1.4 本論文的主要研究內(nèi)容9-10
• 2 超光滑表面的疵病評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)和檢測10-17
• 2.1 國內(nèi)外疵病的評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.1.1 中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB1185-198910
• 2.1.2 美國國家標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.1.3 國際標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.2 國內(nèi)外現(xiàn)有的疵病檢測方法10-15
• 2.2.1 觸針法測量11
• 2.2.2 非接觸法測量11-15
• 2.3 目前現(xiàn)有的疵病檢測的不足分析15-17
• 3 CCD散射顯微鏡的成像系統(tǒng)17-39
• 3.1 被測件的測試需求分析17-18
• 3.1.1 陀螺光腔內(nèi)反鏡的大小尺寸及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)17
• 3.1.2 陀螺光腔內(nèi)反鏡的超光滑加工流程及其精度要求17-18
• 3.1.3 陀螺光腔內(nèi)反鏡的測試需求18
• 3.1.4 表面疵病對于不同入射光的散射特征18
• 3.2 檢測原理18-22
• 3.3 系統(tǒng)方案22-38
• 3.3.1 顯微成像系統(tǒng)23-30
• 3.3.2 照明光學(xué)系統(tǒng)30-32
• 3.3.3 平移旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)32-37
• 3.3.4 圖像采集處理分析系統(tǒng)37-38
• 3.4 本章小結(jié)38-39
• 4 疵病圖像處理的分析和結(jié)果39-56
• 4.1 軟件系統(tǒng)流程圖39-40
• 4.2 疵病圖像處理的分析和結(jié)果40-54
• 4.2.1 圖像的空間濾波40-42
• 4.2.2 圖像匹配算法42-43
• 4.2.3 圖像的融合算法43-45
• 4.2.4 檢測疵病45-47
• 4.2.5 邊緣提取47-49
• 4.2.6 實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析49-54
• 4.3 本章小結(jié)54-56
• 5 結(jié)論與展望56-58
• 5.1 論文總結(jié)56-57
• 5.2 未來展望57-58
• 致謝58-59
• 參考文獻(xiàn)59-63
• 附錄63

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 梁光明,孫即祥,馬琦,姚春光;Otsu算法在Canny算子中的應(yīng)用[J];國防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2003年05期

2 李云飛;司國良;郭永飛;;科學(xué)級CCD相機(jī)的噪聲分析及處理技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2005年S1期

3 戴名奎,徐德衍;光學(xué)元件的疵病檢驗(yàn)與研究現(xiàn)狀[J];光學(xué)儀器;1996年03期

4 侯海虹;范正修;邵建達(dá);易葵;;光學(xué)表面的標(biāo)量散射理論[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2005年11期

5 曾接賢,張桂梅,儲s，

本文編號：975416