本文關(guān)鍵詞：超光滑表面疵病的顯微散射檢測(cè)方法

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【摘要】：現(xiàn)代生產(chǎn)和制造業(yè)中,一些高科技產(chǎn)業(yè)對(duì)精密儀器表面精度的要求越來(lái)越高,精密元件表面疵病對(duì)系統(tǒng)性能的影響很大,可能造成系統(tǒng)癱瘓,使其不能正常工作,這就使得表面疵病的檢測(cè)勢(shì)在必行,如何做到高效化、自動(dòng)化、數(shù)字化的檢測(cè)是一個(gè)亟待解決的問(wèn)題。本論文結(jié)合了航天九院對(duì)陀螺光腔內(nèi)反鏡的檢測(cè)要求,在基于光散射效應(yīng)的表面疵病檢測(cè)方法的基礎(chǔ)上,研制了一套利用CCD散射顯微鏡檢測(cè)超光滑表面的系統(tǒng),該系統(tǒng)采用半導(dǎo)體激光光源,使光線以一定的角度入射到陀螺光腔內(nèi)反鏡上,使其表面疵病散射光進(jìn)入顯微成像系統(tǒng),在暗背景下得到亮像,方便了圖像的后期處理,該方案解決了前階段通過(guò)員工裸眼在顯微鏡下對(duì)疵病進(jìn)行觀察,造成效率低下,人眼疲勞,隨機(jī)誤差大等問(wèn)題；采用四軸電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平移臺(tái),通過(guò)計(jì)算機(jī)控制實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的精確移動(dòng)與定位,實(shí)現(xiàn)了該檢測(cè)系統(tǒng)的自動(dòng)化、高效化、數(shù)字化,該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可保證入射光從任意角度照射到元件表面上,避免了某些疵病在一定角度入射光照射下散射光太弱,進(jìn)入不到成像系統(tǒng),不能在暗背景下形成亮像的問(wèn)題；對(duì)采集到的圖像進(jìn)行了中值濾波、高斯濾波的處理,把多角度入射光照射下同一疵病的圖像進(jìn)行融合,通過(guò)邊緣檢測(cè)實(shí)現(xiàn)了對(duì)疵病位置的數(shù)字化標(biāo)注。
【關(guān)鍵詞】：疵病檢測(cè) 光散射 圖像處理
【學(xué)位授予單位】：南京理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TH74
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 1 緒論7-10
• 1.1 表面疵病的定義7-8
• 1.2 表面疵病的危害8
• 1.3 表面疵病檢測(cè)的發(fā)展8-9
• 1.4 本論文的主要研究?jī)?nèi)容9-10
• 2 超光滑表面的疵病評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)和檢測(cè)10-17
• 2.1 國(guó)內(nèi)外疵病的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.1.1 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB1185-198910
• 2.1.2 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.1.3 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)10
• 2.2 國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有的疵病檢測(cè)方法10-15
• 2.2.1 觸針?lè)y(cè)量11
• 2.2.2 非接觸法測(cè)量11-15
• 2.3 目前現(xiàn)有的疵病檢測(cè)的不足分析15-17
• 3 CCD散射顯微鏡的成像系統(tǒng)17-39
• 3.1 被測(cè)件的測(cè)試需求分析17-18
• 3.1.1 陀螺光腔內(nèi)反鏡的大小尺寸及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)17
• 3.1.2 陀螺光腔內(nèi)反鏡的超光滑加工流程及其精度要求17-18
• 3.1.3 陀螺光腔內(nèi)反鏡的測(cè)試需求18
• 3.1.4 表面疵病對(duì)于不同入射光的散射特征18
• 3.2 檢測(cè)原理18-22
• 3.3 系統(tǒng)方案22-38
• 3.3.1 顯微成像系統(tǒng)23-30
• 3.3.2 照明光學(xué)系統(tǒng)30-32
• 3.3.3 平移旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)32-37
• 3.3.4 圖像采集處理分析系統(tǒng)37-38
• 3.4 本章小結(jié)38-39
• 4 疵病圖像處理的分析和結(jié)果39-56
• 4.1 軟件系統(tǒng)流程圖39-40
• 4.2 疵病圖像處理的分析和結(jié)果40-54
• 4.2.1 圖像的空間濾波40-42
• 4.2.2 圖像匹配算法42-43
• 4.2.3 圖像的融合算法43-45
• 4.2.4 檢測(cè)疵病45-47
• 4.2.5 邊緣提取47-49
• 4.2.6 實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析49-54
• 4.3 本章小結(jié)54-56
• 5 結(jié)論與展望56-58
• 5.1 論文總結(jié)56-57
• 5.2 未來(lái)展望57-58
• 致謝58-59
• 參考文獻(xiàn)59-63
• 附錄63

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：975416