本文關(guān)鍵詞：滾轉(zhuǎn)角測(cè)量中直角棱鏡相位損失及解決方法

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【摘要】：在利用正交偏振光外差干涉相位法測(cè)量數(shù)控機(jī)床滾轉(zhuǎn)角誤差的過(guò)程中,發(fā)現(xiàn)反射元件直角棱鏡造成的相位損失對(duì)系統(tǒng)分辨率產(chǎn)生了不可忽略的影響,通過(guò)瓊斯矩陣運(yùn)算,量化了該相位損失對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響,并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證;同時(shí),針對(duì)相位損失問(wèn)題,提出了基于高反膜相長(zhǎng)干涉原理的解決方法。結(jié)果表明:直角棱鏡引入的相位損失使測(cè)量系統(tǒng)在靈敏區(qū)的放大倍數(shù)降低了40.7%,而基于平面反射鏡的解決方案基本消除了相位損失對(duì)測(cè)量系統(tǒng)分辨率的影響;滾轉(zhuǎn)角誤差引起的相位變化幅度由原來(lái)的55.8°上升到使用平面反射鏡時(shí)的349.2°,與參考實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)358.5°的變化幅度十分接近,從而證明了應(yīng)用高反膜相長(zhǎng)干涉原理解決相位損失問(wèn)題的可行性。該原理和方法同時(shí)為解決全反射導(dǎo)致的光學(xué)相位變化問(wèn)題提供了理論依據(jù)和解決思路。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;陜西恒通智能機(jī)器有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 滾轉(zhuǎn)角 直角棱鏡 相位損失 相長(zhǎng)干涉 平面反射鏡
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2012ZX04003071)
【分類號(hào)】：TH741.2
【正文快照】： 機(jī)床滾轉(zhuǎn)角的測(cè)量在機(jī)床誤差檢測(cè)中是一個(gè)棘手的問(wèn)題,目前基于正交偏振光的測(cè)量方法研究比http:∥www.jdxb.cn http:∥zkxb.xjtu.edu.cn較多,并有較好的應(yīng)用前景[1-7]。利用激光偏振面對(duì)旋轉(zhuǎn)的敏感性,光路中傳感元件的旋轉(zhuǎn)往往會(huì)引起正交偏振光光強(qiáng)、相位或頻差的變化,利用這

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：957055