本文關(guān)鍵詞：級聯(lián)式高階Σ△M數(shù)字式閉環(huán)微機械加速度計

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【摘要】：基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的數(shù)字閉環(huán)微機械加速度計不僅實現(xiàn)了力反饋閉環(huán)控制,同時直接完成信號的模數(shù)轉(zhuǎn)換�；谌罘质诫娙菸⒓铀俣仍O(shè)計了一種2-2級聯(lián)式(MASH)高階Σ△M閉環(huán)系統(tǒng)——MASH_(2-2),并與傳統(tǒng)的單環(huán)路二階、四階Σ△M閉環(huán)系統(tǒng)(SD2、SD4)進行了仿真分析比較,研制了原理樣機。微加速度計是基于結(jié)構(gòu)層厚度50mm的SOI硅片通過DRIE刻蝕、氣態(tài)HF釋放等一系列微加工工藝得到,系統(tǒng)電路以數(shù)字化方式集成在FPGA中。常壓下測試結(jié)果表明,樣機的靈敏度為0.876 V/g,噪聲基底為-110 d B,零偏不穩(wěn)定性為20mg,靜態(tài)溫漂為40.8mg/℃,量程為±20 g。
【作者單位】： 中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)國家重點實驗室;上海航天電子通訊設(shè)備研究所;北京科技大學高效軋制國家工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： Σ△M 微機械加速度計 數(shù)字閉環(huán) 模數(shù)轉(zhuǎn)換 MASH_(-)
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61504159)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 基于MEMS技術(shù)的電容式微機械加速度計以其重量輕、體積小、可集成化批量生產(chǎn)和低成本等優(yōu)點在航空、航天、導彈等軍工領(lǐng)域以及汽車安全、地質(zhì)勘探、消費電子等民用領(lǐng)域都具有廣泛應(yīng)用前景[1-2]。開環(huán)工作的電容式微加速度計存在很多缺點,主要是動態(tài)范圍小,帶寬窄,線性度較差等

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張霞;;微機械加速度計的研究現(xiàn)狀綜述[J];功能材料與器件學報;2013年06期

2 陶永康;劉云峰;董景新;;電容式高過載微機械加速度計的設(shè)計與實驗[J];光學精密工程;2014年04期

3 陳宇曉,文貴印,劉昌孝;電容式微機械加速度計系統(tǒng)動態(tài)特性研究[J];電子科技大學學報;2002年05期

4 陳宇曉,劉昌孝;電容式微機械加速度計測量范圍上限設(shè)計[J];傳感器技術(shù);2003年06期

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7 任杰;樊尚春;;一種雙軸電容式微機械加速度計[J];傳感技術(shù)學報;2006年05期

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本文編號：952265