本文關(guān)鍵詞：級(jí)聯(lián)式高階Σ△M數(shù)字式閉環(huán)微機(jī)械加速度計(jì)

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【摘要】：基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的數(shù)字閉環(huán)微機(jī)械加速度計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)了力反饋閉環(huán)控制,同時(shí)直接完成信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換�；谌罘质诫娙菸⒓铀俣仍O(shè)計(jì)了一種2-2級(jí)聯(lián)式(MASH)高階Σ△M閉環(huán)系統(tǒng)——MASH_(2-2),并與傳統(tǒng)的單環(huán)路二階、四階Σ△M閉環(huán)系統(tǒng)(SD2、SD4)進(jìn)行了仿真分析比較,研制了原理樣機(jī)。微加速度計(jì)是基于結(jié)構(gòu)層厚度50mm的SOI硅片通過(guò)DRIE刻蝕、氣態(tài)HF釋放等一系列微加工工藝得到,系統(tǒng)電路以數(shù)字化方式集成在FPGA中。常壓下測(cè)試結(jié)果表明,樣機(jī)的靈敏度為0.876 V/g,噪聲基底為-110 d B,零偏不穩(wěn)定性為20mg,靜態(tài)溫漂為40.8mg/℃,量程為±20 g。
【作者單位】： 中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;上海航天電子通訊設(shè)備研究所;北京科技大學(xué)高效軋制國(guó)家工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： Σ△M 微機(jī)械加速度計(jì) 數(shù)字閉環(huán) 模數(shù)轉(zhuǎn)換 MASH_(-)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61504159)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 基于MEMS技術(shù)的電容式微機(jī)械加速度計(jì)以其重量輕、體積小、可集成化批量生產(chǎn)和低成本等優(yōu)點(diǎn)在航空、航天、導(dǎo)彈等軍工領(lǐng)域以及汽車(chē)安全、地質(zhì)勘探、消費(fèi)電子等民用領(lǐng)域都具有廣泛應(yīng)用前景[1-2]。開(kāi)環(huán)工作的電容式微加速度計(jì)存在很多缺點(diǎn),主要是動(dòng)態(tài)范圍小,帶寬窄,線(xiàn)性度較差等

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張霞;;微機(jī)械加速度計(jì)的研究現(xiàn)狀綜述[J];功能材料與器件學(xué)報(bào);2013年06期

2 陶永康;劉云峰;董景新;;電容式高過(guò)載微機(jī)械加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2014年04期

3 陳宇曉,文貴印,劉昌孝;電容式微機(jī)械加速度計(jì)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性研究[J];電子科技大學(xué)學(xué)報(bào);2002年05期

4 陳宇曉,劉昌孝;電容式微機(jī)械加速度計(jì)測(cè)量范圍上限設(shè)計(jì)[J];傳感器技術(shù);2003年06期

5 傅德生,蘇偉,彭勃;電容式微機(jī)械加速度計(jì)部分力學(xué)特性的分析[J];安徽工程科技學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2003年04期

6 翁彥雯,董景新,劉云峰;微機(jī)械加速度計(jì)的溫度特性實(shí)驗(yàn)研究[J];航空精密制造技術(shù);2004年04期

7 任杰;樊尚春;;一種雙軸電容式微機(jī)械加速度計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2006年05期

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本文編號(hào)：952265