本文關(guān)鍵詞：可實現(xiàn)誤差估計的移相量計算方法

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【摘要】：針對移相干涉儀中移相器的標定,提出了一種基于干涉圖計算移相量的迭代方法。該方法分為兩步:首先假設移相量已知,構(gòu)建三元最小二乘方程計算位相;然后假設位相已知,構(gòu)建二元最小二乘方程計算移相量,同時依據(jù)三角函數(shù)關(guān)系和遍歷原則,建立估算移相量計算誤差的參數(shù)。利用計算機仿真和實驗驗證了提出方法的有效性。計算機仿真顯示:提出的方法比已有算法計算精度更高,而且誤差估計值與實際計算誤差偏離小于15%。在Fizeau干涉儀上開展了驗證實驗,利用兩個電容位移傳感器測量了鏡架的位移。計算結(jié)果與電容傳感器測量結(jié)果非常吻合,最大偏差僅為0.7nm。另外,利用本文方法得到的誤差估計值為0.52nm,顯示測量結(jié)果和計算結(jié)果的偏差在誤差估計值范圍內(nèi)。所提出的方法可以高精度地提取移相量,且能給出移相量計算誤差,是一種簡單可靠的移相器標定方法。
【作者單位】： 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;西安交通大學機械工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 移相干涉儀 移相器 標定 誤差估計 迭代算法
【基金】：中國工程物理研究院超精密加工技術(shù)重點實驗室基金資助項目(No.ZZ15008) 能力提升課題資助項(No.2015B0405)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言移相干涉儀因其分辨率高和重復性好而成為波面測量的一種重要儀器[1]。移相過程可以使干涉儀采集多幀干涉圖計算每一像素點的位相,從而獲得高的空間分辨率。測量中移相量應等于預設值,否則將導致波面測量誤差,如經(jīng)典的四步移相中,10nm的移相誤差將導致20nm波長的波面誤差

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