本文關(guān)鍵詞：微縮投影系統(tǒng)的垂軸放大率測(cè)量

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【摘要】：考慮有限距光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量與系統(tǒng)垂軸放大率相關(guān),本文提出了基于系統(tǒng)波像差檢測(cè)的垂軸放大率測(cè)量方案。以給定的光學(xué)系統(tǒng)中像平面位置與物平面位置滿足高斯公式和牛頓公式的原理為出發(fā)點(diǎn),通過(guò)系統(tǒng)波像差中離焦量的變化監(jiān)控物點(diǎn)移動(dòng)微小量后像點(diǎn)的移動(dòng)距離。然后,對(duì)牛頓公式或高斯公式微分導(dǎo)出軸向放大率,最終求出系統(tǒng)垂軸放大率。建立了垂軸放大率測(cè)量模型,給出物點(diǎn)的微小位移量和初始離焦量的選取標(biāo)準(zhǔn),并系統(tǒng)地分析了光學(xué)元件形位公差和像點(diǎn)定位精度對(duì)垂軸放大率測(cè)量結(jié)果的影響。搭建了基于點(diǎn)衍射干涉儀的微縮投影系統(tǒng)波像差檢測(cè)平臺(tái),測(cè)量了系統(tǒng)的垂軸放大率。實(shí)驗(yàn)顯示,系統(tǒng)垂軸放大率的測(cè)量值與理論值的偏差優(yōu)于0.24%,驗(yàn)證了提出的垂軸放大率測(cè)量方法的可行性和理論分析的準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 成像系統(tǒng) 微縮投影系統(tǒng) 垂軸放大率測(cè)量 點(diǎn)衍射干涉儀 離焦
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2008ZX02501-008)
【分類號(hào)】：TH741.5
【正文快照】： 1引言系統(tǒng)波像差和垂軸放大率均是衡量如光刻系統(tǒng)[1-4]等有限距光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)[5]。其中,光學(xué)系統(tǒng)的垂軸放大率僅取決于系統(tǒng)共軛面位置,其像差矯正通常也針對(duì)特定的物像共軛點(diǎn),即在滿足特定的系統(tǒng)垂軸放大率需求的前提下完成波像差優(yōu)化。目前,垂軸放大率測(cè)量方法

【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：943604