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基于DVD光學(xué)頭的二維微小角度測(cè)量研究

發(fā)布時(shí)間:2017-09-29 17:23

  本文關(guān)鍵詞:基于DVD光學(xué)頭的二維微小角度測(cè)量研究


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【摘要】:為了實(shí)現(xiàn)精密平臺(tái)二維角度的在線檢測(cè),提出了一種基于DVD光學(xué)頭的二維微小角度測(cè)量的方法。利用DVD光學(xué)頭進(jìn)行角度測(cè)量,是基于激光自準(zhǔn)直原理,以四象限光電探測(cè)器作為檢測(cè)元件,以固定在被測(cè)物上的反射鏡作為被測(cè)元件進(jìn)行測(cè)量的一種角度測(cè)量方法。搭建了基于英國(guó)RPI精密轉(zhuǎn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),對(duì)測(cè)量方法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試。結(jié)果表明:基于DVD光學(xué)讀取頭設(shè)計(jì)的二維角度測(cè)量裝置測(cè)量范圍為±110″,平均分辨率達(dá)到0.2″。該測(cè)量方法穩(wěn)定、可行,且測(cè)量裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊、成本低等特點(diǎn)。
【作者單位】: 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】光學(xué)頭 二維角度 微小角度測(cè)量 自準(zhǔn)直原理
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51175141)
【分類(lèi)號(hào)】:TH712
【正文快照】: 0引言角度測(cè)量是計(jì)量科學(xué)的重要組成部分,其在精密加工、航空航天、軍事和通訊等領(lǐng)域都具有極其重要的意義和作用。在納米級(jí)測(cè)量系統(tǒng)中,工作臺(tái)的角度誤差對(duì)其定位誤差有著放大作用,尤其在違背阿貝原則的測(cè)量系統(tǒng)中,因工作臺(tái)角度誤差及阿貝臂引起的阿貝誤差更是不可忽略,需要對(duì)

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本文編號(hào):943297

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