發(fā)布時間：2017-09-18 18:02

  本文關(guān)鍵詞：一種新型靜電斥力微驅(qū)動器的設(shè)計與仿真

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【摘要】：在電容式MEMS微驅(qū)動器中,靜電引力驅(qū)動最為常見,但介質(zhì)充電會引起"粘連失效"等可靠性問題,而靜電斥力驅(qū)動不存在這樣的可靠性問題。首先通過有限元仿真軟件了分析對比了靜電引力和斥力的不同產(chǎn)生機理。針對靜電斥力微驅(qū)動器驅(qū)動電壓大、形變量小、難以滿足實用化要求的缺點,在基本結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上設(shè)計一種四段支撐結(jié)構(gòu)的靜電斥力微驅(qū)動器結(jié)構(gòu),并研究了關(guān)鍵結(jié)構(gòu)參數(shù)對可動極板變形量的影響,確定了最優(yōu)結(jié)構(gòu)尺寸。通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化,可動極板最大變形量可以在80 V的驅(qū)動電壓下從0.271μm增加到0.399μm,形變量得到顯著提高。
【作者單位】： 太原理工大學(xué)信息工程學(xué)院微納系統(tǒng)研究中心新型傳感器和智能控制系統(tǒng)重點實驗室(教育部);
【關(guān)鍵詞】： 微機電系統(tǒng) 驅(qū)動電壓 靜電斥力 驅(qū)動器 可靠性問題 形變量
【基金】：山西省科技研究基金項目(2014011019-1) 國家青年基金項目(51505324)
【分類號】：TH-39;TH703
【正文快照】： 0引言微驅(qū)動器是微機電系統(tǒng)中的重要組成部件[1],可廣泛應(yīng)用在微諧振器、相控陣天線、RF MEMS開關(guān)[2]、MEMS變形鏡[3-5]等領(lǐng)域。目前,微驅(qū)動器有電磁、壓電、靜電等多種驅(qū)動實現(xiàn)機制[6],其中,靜電驅(qū)動憑借結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)速度快、容易實現(xiàn)等優(yōu)點成為最常見的驅(qū)動方式。然而,當(dāng)

【參考文獻】

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本文編號：877013