發(fā)布時(shí)間：2017-09-16 01:36

  本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷遲滯建模及控制仿真

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【摘要】：為了提高壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器在調(diào)節(jié)光學(xué)諧振腔長(zhǎng)度時(shí)的精度,設(shè)計(jì)了一種壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。同時(shí),為了改善壓電陶瓷的遲滯特性,利用Duhem遲滯模型對(duì)其進(jìn)行建模,利用梯度下降法對(duì)模型參數(shù)進(jìn)行辨識(shí),得到遲滯模型;并利用逆模型補(bǔ)償及比例、積分、微分(PID)復(fù)合控制方法進(jìn)行控制。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,Duhem模型可以有效地?cái)M合壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的遲滯,在15μm的范圍內(nèi),最大擬合誤差小于0.2μm;同時(shí),在復(fù)合控制下,驅(qū)動(dòng)器的最大控制誤差為12nm,表明該復(fù)合控制方法的有效性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) Duhem模型 梯度下降法 比例、積分、微分(PID)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 0引言在納米級(jí)定位系統(tǒng)中,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器因其定位精度高,響應(yīng)快及無噪聲等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛使用[1]。作為壓電陶瓷定位系統(tǒng)中的關(guān)鍵部分——壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源,其性能很大程度地影響著驅(qū)動(dòng)器的定位精度和穩(wěn)定性。目前,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器分為電荷驅(qū)動(dòng)方式和電壓驅(qū)動(dòng)方式兩種。電荷驅(qū)動(dòng)

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本文編號(hào)：860147