發(fā)布時間：2017-09-13 12:28

  本文關鍵詞：基于橋式放大機構的柔順微定位平臺的研究

  更多相關文章： 橋式放大機構 運動導向機構 柔順定位平臺 卡氏定理

【摘要】：在微位移定位平臺設計中,為充分利用橋式機構放大比高的優(yōu)勢,同時使其具有較高的定位精度,在橋式機構的基礎上引入了運動導向機構,設計了一種改進型的柔順微位移定位平臺.根據(jù)材料力學原理和卡氏定理,推導了該定位平臺的放大倍數(shù)和固有頻率表達式.然后通過有限元軟件,對微定位平臺的放大倍數(shù)和固有頻率進行仿真,并與理論計算結果進行了分析對比.最后搭建了微定位實驗系統(tǒng)來測試所設計的平臺的性能.實驗結果表明:該改進型平臺的放大比為6.4,固有頻率為345.0 Hz.理論模型與有限元仿真得到的放大倍數(shù)和固有頻率的相對誤差分別為2.9%和3.6%,與實驗測得的放大比和固有頻率的相對誤差分別為6.7%和6.8%.實驗結果驗證了理論模型的正確性.
【作者單位】： 山東大學機械工程學院高效潔凈機械制造教育部重點實驗室;
【關鍵詞】： 橋式放大機構 運動導向機構 柔順定位平臺 卡氏定理
【基金】：國家自然科學基金(61327003)
【分類號】：TH703.65
【正文快照】： 1引言(Introduction)超精密定位技術廣泛應用于精密儀器、機械和機床、IC工藝制造設備等領域[1].傳統(tǒng)機械系統(tǒng)多采用直線電機、靜壓絲杠或摩擦傳動器作為驅動裝置[2],但這種方式存在摩擦、黏滯等非線性因素,難以滿足高精度定位的要求.近年來,以壓電陶瓷作為驅動器的基于柔性鉸

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本文編號：843745