本文關(guān)鍵詞：共平面二維高精度工作臺(tái)誤差修正與實(shí)驗(yàn)研究

  更多相關(guān)文章： 微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 誤差修正 二維高精度工作臺(tái) 三維測(cè)量

【摘要】：該文通過采用誤差分離與修正技術(shù),對(duì)微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)x-y平面內(nèi)存在的各項(xiàng)誤差進(jìn)行全面分析。利用高精密檢測(cè)儀器和標(biāo)準(zhǔn)件,設(shè)計(jì)誤差分離與修正方案,并對(duì)修正過的誤差項(xiàng)補(bǔ)償效果進(jìn)行測(cè)試。然后通過實(shí)驗(yàn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)量塊平面度、長度等量值,以檢驗(yàn)修正后的微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,一等量塊工作面的平面度測(cè)量重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)差達(dá)到9.5nm,x和y方向長度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)差分別達(dá)到了10nm和19nm。理論分析和實(shí)驗(yàn)表明,所研制的二維高精度工作臺(tái)可用于高精度的三維測(cè)量。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 誤差修正 二維高精度工作臺(tái) 三維測(cè)量
【基金】：國家863計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目(2008AA042409)
【分類號(hào)】：TH721
【正文快照】： 0引言隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展,納米尺度的三維測(cè)量需求越來越迫切。因此,基于納米三維測(cè)量技術(shù)的納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),成為了國內(nèi)外著名高校和研究單位的研究熱點(diǎn)[1-3]。德國Ilmenau技術(shù)大學(xué)J壙ger教授[4]所研制、后由SIOS公司商品化的三維納米定位平臺(tái),其x、y軸采用線性馬達(dá)驅(qū)

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 Henny Spaan;Ivo Widdershoven;Rilpho Donker;;“Isara400”超精密坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的設(shè)計(jì)與標(biāo)定(英文)[J];光學(xué)精密工程;2011年09期

2 程方;范光照;費(fèi)業(yè)泰;;納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)接觸式測(cè)頭預(yù)行程測(cè)量(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2010年02期

3 包園園;;三次樣條函數(shù)在自由曲線測(cè)量中的應(yīng)用研究[J];機(jī)械制造與自動(dòng)化;2009年02期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 黃晉卿;黃梅珍;王龍;施Z赯，

本文編號(hào)：843592