本文關(guān)鍵詞：基于LabVIEW的激光雙頻外差干涉納米位移測(cè)量系統(tǒng)

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【摘要】：工業(yè)的發(fā)展對(duì)位置測(cè)量精度提出了越來(lái)越高的要求。測(cè)量外差干涉儀由于其自身測(cè)量范圍廣、測(cè)量速度高、穩(wěn)定性好、分辨率高的特點(diǎn),在納米測(cè)量領(lǐng)域中得到廣泛的應(yīng)用。提出了一種基于LabVIEW的外差干涉納米位移測(cè)量系統(tǒng),該系統(tǒng)采用外差干涉儀作為位置檢測(cè)單元,利用LabVIEW圖形化編程語(yǔ)言開(kāi)發(fā)了納米精度位移測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于納米計(jì)量和超精密測(cè)量領(lǐng)域。
【作者單位】： 中國(guó)計(jì)量學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院;福陸(中國(guó))工程建設(shè)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 激光外差干涉儀 納米位移測(cè)量 LabVIEW
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51105348) 第45批教育部留學(xué)回國(guó)啟動(dòng)基金項(xiàng)目 浙江省錢(qián)江人才計(jì)劃項(xiàng)目(2013 R1066)
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 隨著納米技術(shù)的不斷發(fā)展,納米位移測(cè)量作為納米技術(shù)的基礎(chǔ)部分,在航空航天、科學(xué)研究、工業(yè)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。目前,進(jìn)行納米位移測(cè)量的方法主要分為兩類(lèi)[1]:一類(lèi)是非光學(xué)測(cè)量方法,包括以掃描探針顯微術(shù)(SPM)為代表的顯微鏡技術(shù)和電學(xué)測(cè)量技術(shù);另一類(lèi)是光學(xué)測(cè)量方法。納米

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【相似文獻(xiàn)】

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2 劉曉e，

本文編號(hào)：823307