本文關鍵詞：X射線干涉光刻光束線偏轉鏡系統(tǒng)的設計與測試

  更多相關文章： 上海同步輻射光源 X射線干涉光刻 偏轉鏡 結構設計 精度測試

【摘要】：介紹了上海光源X射線干涉光刻(XIL)光束線的基本情況。為實現(xiàn)光束線的光束偏轉和光路切換,完成了其偏轉鏡系統(tǒng)的研制。分析了偏轉鏡系統(tǒng)的功能,設計了偏轉鏡的調(diào)節(jié)機構、切換機構和冷卻結構。論述了調(diào)節(jié)機構的關鍵運動,即鏡箱外直線運動轉化為超高真空內(nèi)旋轉運動的實現(xiàn)過程;討論了切換機構重復精度與承載能力之間的關系,并完成了精密絲桿的校核。采用鏡子支撐方式和冷卻方式集成的方案設計了冷卻結構,并通過數(shù)值模擬分析了冷卻結構和冷卻效果。模擬結果表明鏡子子午面形誤差和弧矢面形誤差分別約為6.5rad和7rad。應用激光干涉儀和光電自準直儀對調(diào)節(jié)機構和切換機構進行了測試,結果表明:調(diào)節(jié)機構的線性分辨力可達0.2μm,切換機構的重復精度滿足設計要求。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 上海同步輻射光源 X射線干涉光刻 偏轉鏡 結構設計 精度測試
【基金】：國家重大科學工程資助項目 上海光源工程資助項目(No.SS-06) 國家自然科學基金資助項目(No.11079035)
【分類號】：TH74;TN305.7
【正文快照】： 1引言當今世界,納米科技飛速發(fā)展,納米結構的復雜程度、尺寸和性能都在不斷提高。獲得更小特征尺寸的納米結構以及其組裝結構是越來越多科研人員的目標。為了獲得更小特征尺寸的納米結構,科研人員開發(fā)了多種微納加工技術,如電子束直寫光刻、聚焦離子束刻蝕、激光干涉光刻和納

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 姚文學;轉鏡補償分幅相機的設計[J];光子學報;1983年04期

2 李景鎮(zhèn);轉鏡分幅相機的五心[J];光子學報;1978年00期

3 陳俊人;中科院西安光機所研制的轉鏡高速攝影機[J];光子學報;1987年03期

4 吳建國;正多邊形截面轉鏡彈性變形的計算及應用[J];光子學報;1987年03期

5 陳俊人;轉鏡分幅相機的設計和計算[J];光子學報;1977年Z1期

6 黃惠明,周蔭清,周泗忠,楊曉許,相里斌,高昕;轉鏡式光譜儀光程差和非線性的研究[J];光子學報;2003年10期

7 A·Lgel ,姚文學;轉鏡相機設計計算[J];光子學報;1973年01期

8 吳建國,陳俊人,郎見林;平面光路在等待式轉鏡高速攝影機中實現(xiàn)同時分幅掃描[J];光子學報;1987年03期

9 張樹仁，，潘毓學，楊志文，陸博良，馬文生;激光掃描轉鏡工作角偏差檢測新方法[J];光學技術;1996年01期

10 徐心平;50萬轉/分電動摩擦升速高速轉鏡裝置[J];光子學報;1986年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孫帥;宋玉貴;;彈道跟蹤轉鏡成像研究[A];2010年西部光子學學術會議摘要集[C];2010年

2 黨君禮;劉百玉;歐陽嫻;白永林;舒雅;熊發(fā)田;李曉坤;雷娟;;基于FPGA的新型光電轉速監(jiān)測系統(tǒng)設計[A];高精度幾何量光電測量與校準技術研討會論文集[C];2008年

3 李劍;;大畫幅轉鏡式等待分幅相機設計[A];第十二屆全國實驗力學學術會議論文摘要集[C];2009年

4 高志良;;一種無刷直流電機驅動的高精度轉鏡式激光掃描器設計[A];第九屆全國信息獲取與處理學術會議論文集Ⅱ[C];2011年

5 汪偉;暢里華;劉寧文;;高速變像管相機掃描速度不均勻性檢定[A];中國工程物理研究院科技年報（2000）[C];2000年

6 朱濤;熊春陽;;基于微懸臂梁的生化傳感器檢測及校準[A];中國生物醫(yī)學工程進展——2007中國生物醫(yī)學工程聯(lián)合學術年會論文集（上冊）[C];2007年

7 暢里華;譚顯祥;汪偉;尚長水;李劍;田建華;;紋影攝影技術及其應用[A];第四屆全國爆炸力學實驗技術學術會議論文集[C];2006年

8 宋倩倩;曾向陽;;基于單傳聲器虛擬時間反轉鏡的室內(nèi)聲源定位[A];第二屆西安-上海兩地聲學學術會議論文集[C];2011年

9 齊杭麗;楊甬英;;氣動軸系及其回轉精度測定實驗系統(tǒng)設計[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學學會2004年學術大會論文集[C];2004年

10 張洪濤;徐海峰;翟旭華;;激光掃描大直徑工件檢測方法研究[A];科技創(chuàng)新與節(jié)能減排——吉林省第五屆科學技術學術年會論文集（上冊）[C];2008年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 安嵐坡;“遠方”測量設備通過聯(lián)合國開發(fā)署項目驗收[N];消費日報;2008年

2 ;拍我拍她多愜意[N];電腦報;2004年

3 深圳報業(yè)集團駐京記者　徐香梅 姜媛 本報記者 李興華;“深圳的創(chuàng)新氛圍激發(fā)了我”[N];深圳特區(qū)報;2006年

4 姜小勇 任長清;CTP技術和GTcP技術的分析與對比[N];中國包裝報;2008年

5 本報記者 劉暉;續(xù)寫數(shù)碼夢想[N];計算機世界;2002年

6 通訊員 譚支河;科普大篷車開進巴東校園[N];湖北科技報;2007年

7 記者 黃磊、通訊員 歐陽、小童;國內(nèi)激光企業(yè)中楚天激光擁有專利最多[N];湖北日報;2003年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 楊鵬;高速磁懸浮轉鏡的研究與設計[D];河北工業(yè)大學;2001年

2 生雪莉;矢量反轉鏡時空濾波技術及其在水聲中的應用[D];哈爾濱工程大學;2005年

3 于紀言;運動彈丸追蹤攝影方法及關鍵技術研究[D];南京理工大學;2008年

4 胡居廣;大屏幕真彩色全固態(tài)激光顯示系統(tǒng)關鍵技術研究[D];天津大學;2004年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 程蕾;轉鏡式高速攝影光學系統(tǒng)設計與研究[D];中國科學院研究生院(西安光學精密機械研究所);2011年

2 張Z

本文編號：819526