本文關(guān)鍵詞：X射線干涉光刻光束線偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與測(cè)試

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【摘要】：介紹了上海光源X射線干涉光刻(XIL)光束線的基本情況。為實(shí)現(xiàn)光束線的光束偏轉(zhuǎn)和光路切換,完成了其偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的研制。分析了偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)的功能,設(shè)計(jì)了偏轉(zhuǎn)鏡的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、切換機(jī)構(gòu)和冷卻結(jié)構(gòu)。論述了調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的關(guān)鍵運(yùn)動(dòng),即鏡箱外直線運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為超高真空內(nèi)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)過(guò)程;討論了切換機(jī)構(gòu)重復(fù)精度與承載能力之間的關(guān)系,并完成了精密絲桿的校核。采用鏡子支撐方式和冷卻方式集成的方案設(shè)計(jì)了冷卻結(jié)構(gòu),并通過(guò)數(shù)值模擬分析了冷卻結(jié)構(gòu)和冷卻效果。模擬結(jié)果表明鏡子子午面形誤差和弧矢面形誤差分別約為6.5rad和7rad。應(yīng)用激光干涉儀和光電自準(zhǔn)直儀對(duì)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和切換機(jī)構(gòu)進(jìn)行了測(cè)試,結(jié)果表明:調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的線性分辨力可達(dá)0.2μm,切換機(jī)構(gòu)的重復(fù)精度滿足設(shè)計(jì)要求。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 上海同步輻射光源 X射線干涉光刻 偏轉(zhuǎn)鏡 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 精度測(cè)試
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)工程資助項(xiàng)目 上海光源工程資助項(xiàng)目(No.SS-06) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.11079035)
【分類號(hào)】：TH74;TN305.7
【正文快照】： 1引言當(dāng)今世界,納米科技飛速發(fā)展,納米結(jié)構(gòu)的復(fù)雜程度、尺寸和性能都在不斷提高。獲得更小特征尺寸的納米結(jié)構(gòu)以及其組裝結(jié)構(gòu)是越來(lái)越多科研人員的目標(biāo)。為了獲得更小特征尺寸的納米結(jié)構(gòu),科研人員開發(fā)了多種微納加工技術(shù),如電子束直寫光刻、聚焦離子束刻蝕、激光干涉光刻和納

【相似文獻(xiàn)】

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3 深圳報(bào)業(yè)集團(tuán)駐京記者　徐香梅 姜媛 本報(bào)記者 李興華;“深圳的創(chuàng)新氛圍激發(fā)了我”[N];深圳特區(qū)報(bào);2006年

4 姜小勇 任長(zhǎng)清;CTP技術(shù)和GTcP技術(shù)的分析與對(duì)比[N];中國(guó)包裝報(bào);2008年

5 本報(bào)記者 劉暉;續(xù)寫數(shù)碼夢(mèng)想[N];計(jì)算機(jī)世界;2002年

6 通訊員 譚支河;科普大篷車開進(jìn)巴東校園[N];湖北科技報(bào);2007年

7 記者 黃磊、通訊員 歐陽(yáng)、小童;國(guó)內(nèi)激光企業(yè)中楚天激光擁有專利最多[N];湖北日?qǐng)?bào);2003年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

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2 生雪莉;矢量反轉(zhuǎn)鏡時(shí)空濾波技術(shù)及其在水聲中的應(yīng)用[D];哈爾濱工程大學(xué);2005年

3 于紀(jì)言;運(yùn)動(dòng)彈丸追蹤攝影方法及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2008年

4 胡居廣;大屏幕真彩色全固態(tài)激光顯示系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2004年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 程蕾;轉(zhuǎn)鏡式高速攝影光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(西安光學(xué)精密機(jī)械研究所);2011年

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