本文關鍵詞：反應離子束刻蝕工藝制作閃耀羅蘭光柵

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【摘要】：相比類矩形槽羅蘭光柵,閃耀羅蘭光柵的衍射效率較高,更有利于光譜分析儀器的設計與應用,而國內外尚無產品級閃耀羅蘭光柵產品.本文通過類矩形槽形及閃耀槽形的衍射效率優(yōu)化設計及對比,獲得了閃耀槽形優(yōu)化設計結果;利用反應離子束刻蝕設備制作出3塊200~450 nm波段、線密度為2 400 gr/mm、口徑為Φ63.5 mm的閃耀羅蘭光柵,其中光柵2的峰值衍射效率達到了65%@220 nm,較HORIBA Jobin Yvon公司生產的類矩形槽羅蘭光柵產品整體衍射效率高25%,與理論衍射效率相當.實驗結果表明,本文所采用的反應離子束刻蝕工藝可實現(xiàn)高衍射效率閃耀羅蘭光柵制作,且工藝可控、穩(wěn)定,所制作的閃耀羅蘭光柵衍射效率高于國外同類產品.
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;
【關鍵詞】： 衍射效率 反應離子束刻蝕 粗糙度 羅蘭光柵
【基金】：國家高技術研究發(fā)展計劃(863計劃)重大資助項目(2010AA1221091001) 國家重大科研裝備開發(fā)專項資助項目(2011YQ120023)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 光柵是光譜儀器的核心元件,依托于光譜儀器的光譜分析技術在工業(yè)、農業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)境、生物醫(yī)學等領域得到了廣泛應用[1-5].目前光柵光譜儀的發(fā)展方向主要有寬波段、高分辨率、微型化等幾個方面.羅蘭光柵由于其成像于羅蘭圓上,所有波長光譜像的離焦和子午彗差均為零[6-7],在光

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本文編號：814443