本文關(guān)鍵詞：雙靜電四極透鏡點(diǎn)聚焦特性分析與仿真

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【摘要】：靜電四級(jí)透鏡具有優(yōu)越的電子光學(xué)聚焦成像性能,單一靜電四極透鏡可實(shí)現(xiàn)電子束線聚焦,組合靜電四極透鏡系統(tǒng)擁有點(diǎn)聚焦的能力。文中對(duì)實(shí)現(xiàn)點(diǎn)聚焦的雙靜電四極透鏡系統(tǒng)相關(guān)參數(shù)進(jìn)行了計(jì)算,利用電子光學(xué)軟件SIMION仿真發(fā)現(xiàn),靜電四極透鏡之間的畸變場(chǎng)與兩端的邊緣場(chǎng)引起的像差會(huì)嚴(yán)重影響系統(tǒng)聚焦成像質(zhì)量。仿真分析了系統(tǒng)像差與發(fā)射電子初動(dòng)能的關(guān)系。結(jié)果表明:系統(tǒng)在保證點(diǎn)聚焦的情況下,增加電子發(fā)射初動(dòng)能可以有效減小系統(tǒng)像差;當(dāng)電子初動(dòng)能增加至1×105 e V時(shí),最大發(fā)散角為2°的電子束在聚焦平面上的彌散斑減小至3.2μm×28μm。
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)可調(diào)諧激光技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 雙靜電四極透鏡 點(diǎn)聚焦 像差 SIMION
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)資金(2012YQ040164)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言靜電四極透鏡是一種具有面對(duì)稱(chēng)場(chǎng)分布的電子光學(xué)系統(tǒng),具有優(yōu)越的電子光學(xué)成像性能[1]。單一靜電四極透鏡可實(shí)現(xiàn)電子束的線聚焦,組合靜電四極透鏡系統(tǒng)擁有點(diǎn)聚焦的能力,雙靜電四極透鏡系統(tǒng)以其較強(qiáng)的聚焦能力引起了廣泛研究[2-6]。目前的文獻(xiàn)并沒(méi)有從實(shí)際運(yùn)用的角度針對(duì)系，

本文編號(hào)：814231