本文關(guān)鍵詞：圓光柵衍射光干涉偏心測量方法

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【摘要】：光電編碼器的測量精度受軸系精度、圓光柵精度、電子學(xué)細(xì)分精度等多種因素影響,而圓光柵盤的偏心作為重要的系統(tǒng)誤差,直接影響了光電編碼器的測角精度。隨著光柵線密度的增大,衍射現(xiàn)象變得明顯,此時傳統(tǒng)的莫爾條紋檢測方法已無法提取出高質(zhì)量的信號,顯微鏡檢測的精度無法滿足實際要求。本文利用衍射光干涉原理,提取高密度圓光柵位移信息,用于測量高密度圓光柵的偏心量。該方法使用對徑放置的兩個光電讀數(shù)頭采集干涉條紋信號,通過對比兩路信號的相位差最終解算得到圓光柵盤偏心量,并搭建了試驗平臺進(jìn)行了驗證。試驗結(jié)果表明,對刻劃中徑34 mm,一周刻線45 000 lp的高密度圓光柵進(jìn)行偏心量的測量,比傳統(tǒng)方法使用顯微鏡的測量瞄準(zhǔn)精度提高數(shù)十倍甚至上百倍。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;浙江大學(xué)光電信息工程學(xué)系;
【關(guān)鍵詞】： 衍射光干涉 多普勒頻移 圓光柵偏心測量 角度測量
【分類號】：TH741.23
【正文快照】： 1引言光電編碼器目前作為測角儀器,廣泛應(yīng)用在自動化以及精密測量領(lǐng)域。圓光柵作為編碼器的核心元件,其測量精度直接決定了整個編碼器的精度。在編碼器的裝調(diào)過程中,圓光柵不可避免的會產(chǎn)生偏心,這種偏心誤差會對測量出的角度位置產(chǎn)生影響,對精度要求越高的系統(tǒng),偏心帶來的影

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本文編號：798066