本文關(guān)鍵詞：激光光路跟蹤型原子力顯微鏡研究

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【摘要】：提出和發(fā)展了一種激光光路跟蹤型原子力顯微鏡(AFM)技術(shù)及系統(tǒng)。研制了新型AFM探頭,設(shè)計(jì)了與XY掃描器聯(lián)動(dòng)的跟蹤透鏡及掃描跟蹤光路,實(shí)現(xiàn)激光束對(duì)微探針(微懸臂)的XY掃描的實(shí)時(shí)跟蹤;研究設(shè)計(jì)了獨(dú)特的反饋跟蹤光路,既可實(shí)現(xiàn)微懸臂偏轉(zhuǎn)量的精確檢測(cè),又可巧妙地消除因微探針的Z向反饋運(yùn)動(dòng)造成的干擾噪聲。利用研發(fā)的AFM系統(tǒng)對(duì)多孔氧化鋁納米孔等具有不同橫向與縱向結(jié)構(gòu)尺寸的微納米樣品進(jìn)行了掃描成像,得到了理想的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,表明研發(fā)的系統(tǒng)具有優(yōu)良的XY掃描跟蹤特性和Z向反饋跟蹤性能。本文研發(fā)的AFM系統(tǒng)原理新穎、方法巧妙、掃描成像性能好和分辨率高,克服了常規(guī)樣品掃描型AFM的局限性,能夠以微探針掃描的方式實(shí)現(xiàn)不同大小、不同重量的樣品的AFM掃描成像,可望在微納米技術(shù)領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。
【作者單位】： 浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院現(xiàn)代光學(xué)儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡(AFM) 激光光路 微探針掃描 掃描跟蹤 反饋跟蹤
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51077117)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 1引言微納米技術(shù)已成為十分熱門(mén)的研究及應(yīng)用領(lǐng)域[1~3]。以掃描隧道顯微鏡(STM)[4]和原子力顯微鏡(AFM)[5]為主要代表的掃描探針顯微鏡(SPM)[6],是微納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)[7],其中*E-mail:zhanghj@zju.edu.cn以AFM的研究[8]和應(yīng)用最為廣泛[9~11]。絕大多數(shù)常規(guī)型AFM都采用微

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：797168