本文關(guān)鍵詞：一種新型差分平面鏡干涉儀

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【摘要】：針對(duì)傳統(tǒng)差分平面鏡干涉儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜、需要光學(xué)部件多從而導(dǎo)致系統(tǒng)調(diào)試?yán)щy、測(cè)量信噪比低等缺點(diǎn),提出了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單需要光學(xué)部件少的新型差分平面鏡干涉儀系統(tǒng)。此干涉儀能夠產(chǎn)生對(duì)稱的空間四光路,對(duì)環(huán)境因素(濕度、溫度及大氣壓)的變化有很好的抗干擾能力,測(cè)量分辨率高。如果附加其他光學(xué)元件,可輕易實(shí)現(xiàn)對(duì)偏擺角、微滾轉(zhuǎn)角、直線度等幾何量的測(cè)量。靜態(tài)狀態(tài)下,其位移漂移小于1nm,而同等條件下傳統(tǒng)邁克耳孫干涉儀漂移大于10nm。基于此系統(tǒng)的精密角度測(cè)量干涉儀,使用電子細(xì)分為2π/516的相位計(jì),可以得到0.024μrad的測(cè)量分辨率。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 外差干涉儀 差分平面鏡干涉儀 光程死區(qū)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51075280) 上海市研究生創(chuàng)新基金(JWCXSL1302)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在軍工、航天、數(shù)控機(jī)床等高科技領(lǐng)域,精密基準(zhǔn)計(jì)量和幾何量精密測(cè)量具有非常重要的作用,特別是直線度的測(cè)量技術(shù),越來(lái)越引起人們的重視[1-3]。激光外差干涉儀能夠以簡(jiǎn)單的相位比較取得較高的測(cè)量分辨率,由于其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于納米精度以及亞

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 陳本永;穆瑞珍;周硯江;李達(dá)成;;激光合成波長(zhǎng)納米測(cè)量干涉儀的非線性誤差分析[J];中國(guó)激光;2008年02期

2 侯文玫;張運(yùn)波;樂(lè)燕芬;句愛(ài)松;;外差激光干涉測(cè)長(zhǎng)非線性誤差的消除[J];中國(guó)激光;2012年09期

3 祝寶輝;張淳民;魯輝東;曾文鋒;;大光程差、寬場(chǎng)、消色差、熱補(bǔ)償型邁克耳孫風(fēng)成像干涉儀動(dòng)鏡傾斜誤差分析[J];中國(guó)激光;2012年11期

4 張永芹;張松;鄧勇;張書練;;Nd∶YAG微片激光回饋干涉儀[J];中國(guó)激光;2013年03期

5 張學(xué)敏;魏儒義;閆肅;段嘉友;李華;楊建峰;;分體型薩格奈克干涉儀的精密裝調(diào)[J];中國(guó)激光;2013年04期

6 楊朋千;Stefan Hippler;Casey Deen;Wolfgang Brandner;Sarah Kendrew;繆潔;張艷麗;朱健強(qiáng);;基于自參考的高精度紅外點(diǎn)衍射干涉儀研制(英文)[J];中國(guó)激光;2013年05期

7 文剛;蘇東奇;蘇志德;隋永新;楊懷江;;基于數(shù)值模擬的高精度波長(zhǎng)移相干涉儀隨機(jī)誤差分析[J];中國(guó)激光;2013年10期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王堅(jiān);楊軍;;基于DSP的單頻激光實(shí)時(shí)信號(hào)解調(diào)軟硬件研究[J];黑龍江大學(xué)工程學(xué)報(bào);2011年01期

2 鄧元龍;李岳峙;吳玉斌;徐剛;;金屬反射鏡對(duì)外差干涉橢偏測(cè)量精度的影響[J];中國(guó)激光;2009年02期

3 李立艷;王堅(jiān);韓春陽(yáng);苑勇貴;吳冰;楊軍;苑立波;;用于納米測(cè)量的集成化單頻激光干涉儀[J];中國(guó)激光;2011年04期

4 侯文玫;張運(yùn)波;樂(lè)燕芬;句愛(ài)松;;外差激光干涉測(cè)長(zhǎng)非線性誤差的消除[J];中國(guó)激光;2012年09期

5 張桂林;姜濤;李敏;;一種光電編碼器轉(zhuǎn)角精度檢測(cè)方法的誤差分析[J];中國(guó)激光;2013年08期

6 陳強(qiáng)華;劉景海;羅會(huì)甫;何永熹;羅軍;王鋒;;對(duì)633nm波長(zhǎng)下濕空氣折射率計(jì)算公式的精確修正[J];中國(guó)激光;2014年03期

7 池峰;朱煜;張志平;高為宮;;雙頻激光干涉測(cè)量中的環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)[J];中國(guó)激光;2014年04期

8 翟玉生;張志峰;蘇玉玲;王新杰;;滾轉(zhuǎn)角測(cè)量方法綜述[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2014年04期

9 羅韻;馮國(guó)英;劉建;周晟陽(yáng);周壽桓;;激光外差振動(dòng)譜提取分析的車輛標(biāo)識(shí)技術(shù)[J];中國(guó)激光;2014年11期

10 韓林;張大衛(wèi);;測(cè)量線性工作臺(tái)滾轉(zhuǎn)角誤差的多探頭法[J];天津大學(xué)學(xué)報(bào);2012年02期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 黎永前;納米精度測(cè)量與校準(zhǔn)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2003年

2 翟玉生;多自由度誤差同時(shí)測(cè)量中滾轉(zhuǎn)角高精度測(cè)量方法的研究[D];北京交通大學(xué);2012年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張萍;激光合成波長(zhǎng)干涉技術(shù)的信號(hào)處理方法研究[D];浙江理工大學(xué);2010年

2 常樹(shù)林;100m雙頻激光干涉儀光電檢測(cè)系統(tǒng)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

3 姚喜國(guó);激光合成波長(zhǎng)納米位移測(cè)量干涉儀的非線性誤差分析與補(bǔ)償方法研究[D];浙江理工大學(xué);2011年

4 曹睿;滾轉(zhuǎn)角誤差測(cè)量方法的研究[D];北京交通大學(xué);2008年

5 于麗娜;基于五棱鏡掃描法的大口徑光學(xué)準(zhǔn)直系統(tǒng)出射波前的檢測(cè)[D];南京理工大學(xué);2008年

6 張振林;面向跨尺度表面測(cè)量的宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和激光干涉系統(tǒng)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

7 邵明新;基于鎖相放大器的鋼軌長(zhǎng)度測(cè)量中的信號(hào)檢測(cè)的研究[D];哈爾濱理工大學(xué);2014年

8 尹子;單頻激光干涉儀信號(hào)處理及其測(cè)量技術(shù)研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

9 李博;三光束大面積光刻及表面結(jié)構(gòu)檢測(cè)[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2013年

10 馬琳;基于相位調(diào)制的激光干涉位移測(cè)量系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 姜海麗;王政平;;保偏膜的反射相移溫度特性的實(shí)驗(yàn)研究[J];哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào);2006年02期

2 白加光;王忠厚;白清蘭;肖相國(guó);相里斌;;Sagnac橫向剪切干涉儀設(shè)計(jì)方法的研究[J];航天器工程;2010年02期

3 鄧勇;張永芹;楊玉萍;;Nd:YAG微片激光器角漂移研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2012年05期

4 樊心民;鄭義;孫啟兵;王冠軍;曾灝憲;邴丕彬;任懷遠(yuǎn);;90/10刀口法測(cè)量激光高斯光束束腰的實(shí)驗(yàn)研究[J];激光與紅外;2008年06期

5 楊曉冬;邵建新;廖生鴻;譚錦業(yè);周杰;蔣躍文;;刀口法測(cè)量高斯光束光斑半徑研究[J];激光與紅外;2009年08期

6 戴高良,晃志霞,殷純永,徐毅,許捷;納米精度雙頻激光干涉儀非線性誤差的確定方法[J];中國(guó)激光;1999年11期

7 寧志高,程兆谷,高海軍;外差干涉儀混頻誤差分析[J];中國(guó)激光;2005年06期

8 陳洪芳,丁雪梅,鐘志,譚久彬;激光外差干涉檢偏器旋轉(zhuǎn)誤差對(duì)非線性誤差的影響[J];中國(guó)激光;2005年09期

9 陳洪芳;丁雪梅;鐘志;;偏振分光鏡分光性能非理想對(duì)激光外差干涉非線性誤差的影響[J];中國(guó)激光;2006年11期

10 陳本永;穆瑞珍;周硯江;李達(dá)成;;激光合成波長(zhǎng)納米測(cè)量干涉儀的非線性誤差分析[J];中國(guó)激光;2008年02期

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 陳朗,馮長(zhǎng)根;激光速度干涉儀測(cè)量炸藥驅(qū)動(dòng)金屬的運(yùn)動(dòng)速度[J];兵工學(xué)報(bào);2003年01期

2 劉雯,沈妮,李天初;用多齒分度臺(tái)標(biāo)定激光小角度干涉儀[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2004年04期

3 翁繼東,譚華,胡紹樓,馬云,王翔;一種新型全光纖速度干涉儀[J];強(qiáng)激光與粒子束;2005年04期

4 蘇嘉;張寅超;雷麗巧;趙曰風(fēng);屈凱峰;劉曉勤;洪光烈;;全光纖多模速度干涉儀的研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2006年05期

5 馬軍;何煦;居波;韓冰;;泰曼-格林型靜態(tài)便攜式干涉儀的設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2008年12期

6 武旭華;陳磊;肖韶榮;;干涉儀準(zhǔn)直系統(tǒng)波前質(zhì)量檢測(cè)[J];紅外與激光工程;2008年01期

7 李艷秋;劉克;;相移點(diǎn)衍射干涉儀的關(guān)鍵技術(shù)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2010年01期

8 舒樺;傅思祖;黃秀光;賈果;董佳欽;葉君建;顧援;;神光-Ⅱ裝置配套速度干涉儀[J];強(qiáng)激光與粒子束;2010年07期

9 韓月濤;吳嗣亮;潘偉萍;楊帆;;干涉儀寬帶實(shí)時(shí)校準(zhǔn)方法研究[J];電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào);2011年08期

10 張建鋒;曹學(xué)東;景洪偉;吳時(shí)彬;陰旭;;基于旋轉(zhuǎn)法的干涉儀系統(tǒng)誤差標(biāo)定[J];光電工程;2011年12期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 楊鵬;伍凡;侯溪;;影響干涉儀精度的主要誤差分析[A];2009年先進(jìn)光學(xué)技術(shù)及其應(yīng)用研討會(huì)論文集（上冊(cè)）[C];2009年

2 杜炎雄;顏輝;張丹偉;單傳家;朱詩(shī)亮;;暗態(tài)原子干涉儀[A];第十五屆全國(guó)量子光學(xué)學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)報(bào)告摘要集[C];2012年

3 許葉圣;沈麗萍;;激光多普勒干涉儀與A超測(cè)量硅油眼軸長(zhǎng)的比較[A];2008年浙江省眼科學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2008年

4 裴雅鵬;黃曉蓉;;用于一等量塊檢定的柯氏干涉儀改造[A];高精度幾何量光電測(cè)量與校準(zhǔn)技術(shù)研討會(huì)論文集[C];2008年

5 梁鑄;;用激光掃描干涉儀測(cè)量超音速的流體速度[A];第一屆全國(guó)光散射會(huì)議會(huì)議指南[C];1981年

6 王麗萍;馬冬梅;;可見(jiàn)光移相點(diǎn)衍射干涉儀的測(cè)量誤差分析[A];第十三屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2010年

7 杜國(guó)軍;王永梅;王英鑒;;多普勒干涉儀的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[A];中國(guó)空間科學(xué)學(xué)會(huì)空間探測(cè)專業(yè)委員會(huì)第十九次學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（上冊(cè)）[C];2006年

8 吳朔;沙定國(guó);林家明;周桃庚;陳凌峰;聶亮;;光纖點(diǎn)衍射干涉儀測(cè)量凹球面面形[A];中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)第九屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

9 武旭華;陳磊;;五棱鏡掃描法檢測(cè)干涉儀準(zhǔn)直系統(tǒng)波前質(zhì)量[A];第十一屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2006年

10 曾理江;松本弘一;;用于測(cè)量空氣折射率的雙波長(zhǎng)外差干涉儀[A];第九屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2001年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 武旭華;φ300mm移相干涉儀的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2007年

2 張健;超高精度菲索干涉儀不確定度分析[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

3 吳棟;移相干涉儀自適應(yīng)抗振技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2004年

4 劉兆棟;φ600mm近紅外相移斐索干涉儀校準(zhǔn)及測(cè)試技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2011年

5 郭仁慧;近紅外大口徑波長(zhǎng)移相干涉儀關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用研究[D];南京理工大學(xué);2013年

6 陳杰;J-TEXT三波遠(yuǎn)紅外激光偏振干涉儀的建立[D];華中科技大學(xué);2013年

7 吳新民;光干涉測(cè)試中的抗振技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2002年

8 齊永岳;大范圍二維納米檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究[D];天津大學(xué);2004年

9 梁晶;用于絕對(duì)距離測(cè)量的He-Ne激光多波長(zhǎng)干涉儀的研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王聰聰;移相干涉儀中的振動(dòng)探測(cè)及分析[D];南京理工大學(xué);2011年

2 揭應(yīng)平;干涉儀測(cè)試系統(tǒng)的改進(jìn)及測(cè)量范圍擴(kuò)展的研究[D];南京理工大學(xué);2002年

3 金霞;數(shù)字波面干涉儀及其標(biāo)準(zhǔn)化研究[D];南京理工大學(xué);2004年

4 周宇軒;鍍膜小孔點(diǎn)衍射干涉儀的設(shè)計(jì)與調(diào)試[D];南京理工大學(xué);2012年

5 季榮;中頻段干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2014年

6 高建美;時(shí)頻干涉儀測(cè)向算法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

7 路建新;沖擊波實(shí)驗(yàn)中測(cè)量自由面速度的光學(xué)記錄速度干涉儀的設(shè)計(jì)和建立[D];中國(guó)原子能科學(xué)研究院;2004年

8 陸旭明;干涉儀測(cè)量的光強(qiáng)控制與抗振技術(shù)研究[D];蘇州大學(xué);2006年

9 姬會(huì)東;移相干涉儀中主動(dòng)抗振及電器集成控制技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2004年

10 解曉龍;基于點(diǎn)衍射干涉儀的波前測(cè)試技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2014年

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本文編號(hào)：787585