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壓電微位移臺(tái)的動(dòng)態(tài)遲滯建模及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

發(fā)布時(shí)間:2017-09-02 03:08

  本文關(guān)鍵詞:壓電微位移臺(tái)的動(dòng)態(tài)遲滯建模及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證


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【摘要】:為了提高壓電微位移平臺(tái)快速定位的精確度,建立了一種表征壓電微位移平臺(tái)驅(qū)動(dòng)電壓與輸出位移關(guān)系的定位模型?紤]壓電工作臺(tái)在快速、大行程精確定位過(guò)程中會(huì)受壓電陶瓷遲滯特性及本身動(dòng)態(tài)特性的影響,本文采用BoucWen模型描述壓電陶瓷遲滯特性,并結(jié)合壓電工作臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行共同建模,使模型同時(shí)體現(xiàn)壓電工作臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性與遲滯特性。為了驗(yàn)證模型的正確性,搭建了基于壓電微位移平臺(tái)和相關(guān)驅(qū)動(dòng)器的實(shí)驗(yàn)設(shè)備對(duì)模型進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,并進(jìn)行了測(cè)控程序的二次開(kāi)發(fā)。研究結(jié)果表明,與單純的Bouc-Wen模型相比,提出模型在最大位移輸出為40μm,輸入電壓頻率為40Hz時(shí)的最大誤差由3.04μm下降到了0.67μm,此時(shí)最大相對(duì)誤差為1.68%。得到的結(jié)果驗(yàn)證了提出的模型可較好地模擬壓電工作臺(tái)的遲滯特性與動(dòng)態(tài)特性,大大提高壓電微位移平臺(tái)在快速、大行程定位中的精確度。
【作者單位】: 昆明理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】壓電微位移臺(tái) 動(dòng)態(tài)特性 遲滯特性 Bouc-Wen模型 運(yùn)動(dòng)定位
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51365021)
【分類號(hào)】:TH703
【正文快照】: 1引言壓電微位移平臺(tái)是基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),由壓電陶瓷提供驅(qū)動(dòng)力的微位移精密機(jī)構(gòu)。具有分辨率高、無(wú)摩擦、響應(yīng)快和無(wú)噪音等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于超精密加工制造、微納定位、生物工程、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域[1]。但是,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的輸入電壓與輸出位移之間存在的遲滯非線性,壓電陶

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本文編號(hào):776007

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