本文關(guān)鍵詞：MEMS加速度計(jì)的誤差補(bǔ)償方法

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【摘要】：溫度誤差和非線性誤差是影響MEMS加速度計(jì)精度、限制其應(yīng)用領(lǐng)域的兩個(gè)重要因素。研究了國內(nèi)外MEMS加速度計(jì)誤差補(bǔ)償方法,分析了MEMS加速度計(jì)的溫度誤差和非線性誤差來源。為了消除一款50g量程的數(shù)字式MEMS加速度計(jì)的誤差,采用分段線性擬合插值法進(jìn)行了零偏溫度補(bǔ)償;同時(shí)采用基于預(yù)測模型的分段插值法對加速度計(jì)的非線性誤差進(jìn)行了校正。測試結(jié)果表明,經(jīng)過補(bǔ)償后,加速度計(jì)全溫區(qū)(-40℃~60℃)零偏變化量從33.95mg提升到了1.02mg,標(biāo)度因數(shù)溫度系數(shù)從4.205×10~(-5)/℃提升到了0.74×10~(-6)/℃,滿量程非線性度從1.010 022×10~(-2)提升到了1.479 9×10~(-4)。該方法算法簡單,效果顯著,適合于工程應(yīng)用。
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS) 加速度計(jì) 溫度補(bǔ)償 非線性補(bǔ)償 插值法
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微電子機(jī)械系統(tǒng)(micro-electromechanicalsystem,MEMS)加速度計(jì)是微小型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中非常重要的元件之一,其性能的優(yōu)劣程度直接決定了慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的導(dǎo)航精度。在影響MEMS加速度計(jì)精度的諸多因素中,環(huán)境溫度的改變不容小覷。MEMS加速度計(jì)隨環(huán)境溫度變化而產(chǎn)生的測量精

【相似文獻(xiàn)】

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