本文關(guān)鍵詞：高精度平面氣浮導(dǎo)軌的誤差均化效應(yīng)研究

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【摘要】：氣浮導(dǎo)軌具有高運行精度、高平穩(wěn)性的一個重要因素在于氣體具有誤差均化作用。為了探究誤差均化作用的大小,通過多個不同波長的正弦函數(shù)來模擬導(dǎo)軌輪廓誤差,建立平面氣浮導(dǎo)軌物理模型,采用有限差分的數(shù)值計算方法求出動氣浮導(dǎo)軌在運動過程中的各個平衡位置參數(shù),進(jìn)而利用最小包容法求出其運行直線度。結(jié)果表明:氣體潤滑很好地實現(xiàn)了氣浮導(dǎo)軌誤差均化作用,且效果明顯;與無氣體潤滑狀態(tài)時相比,氣浮導(dǎo)軌在通氣狀態(tài)時的運行直線度提高了約一倍,與靜導(dǎo)軌輪廓誤差相比提高了約2/3。建立的氣體誤差均化效應(yīng)計算方法為探究誤差均化的影響因素奠定了理論基礎(chǔ)。
【作者單位】： 西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 平面氣浮導(dǎo)軌 誤差均化 直線度 輪廓
【基金】：陜西省教育廳科研計劃項目(15JK1338)
【分類號】：TH703.4
【正文快照】： 近年來隨著電子技術(shù)、宇航、生物工程等的迅速發(fā)展,對機(jī)械零件的加工提出了更高的要求,機(jī)械零件的加工趨于復(fù)雜化、精密化。為了保證使用中的精確性與穩(wěn)定性,越來越多的零件須對其表面參數(shù)進(jìn)行精確測量[1],而氣浮導(dǎo)軌因具有高精密運行的特點,已被廣泛應(yīng)用于測量這些機(jī)械零件的

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本文編號：733319