本文關(guān)鍵詞：基于指數(shù)法評(píng)估激光量熱儀吸收測(cè)量不確定度

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【摘要】：為了掌握熔石英樣品在紫外波段的吸收特性,研究了精確評(píng)估激光量熱儀測(cè)量不確定度的方法。介紹了激光量熱儀的吸收測(cè)量原理,選用指數(shù)法對(duì)吸收測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了擬合;通過分析各吸收率測(cè)量結(jié)果的影響分量,建立了測(cè)量不確定度評(píng)估模型;對(duì)各輸入量的估計(jì)值以及估計(jì)值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度逐一進(jìn)行計(jì)算,并對(duì)影響吸收率測(cè)量結(jié)果的擬合計(jì)算參數(shù)A、γ進(jìn)行了修正�？紤]背景溫度漂移對(duì)被測(cè)樣品溫度測(cè)量的影響,利用Matlab編程分析了線性、非線性溫度漂移對(duì)吸收計(jì)算結(jié)果的影響,獲得其相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度及相對(duì)擴(kuò)展不確定度分別為2.6%和5.2%。最后,更換熔石英基底并進(jìn)行多次吸收測(cè)量,計(jì)算了吸收率10次測(cè)量結(jié)果平均值的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.3%,相對(duì)擴(kuò)展不確定度為4.6%,與評(píng)估結(jié)果基本相同。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量技術(shù) 激光量熱儀 指數(shù)法 吸收測(cè)量 不確定度 溫度漂移 熔石英
【基金】：國(guó)家重大科技專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TH744.5
【正文快照】： 本文首先簡(jiǎn)單介紹了激光量熱儀以及指數(shù)法1　引　言的原理,然后根據(jù)指數(shù)法的數(shù)據(jù)處理公式,通過找出熔石英基底的質(zhì)量、比熱容、激光功率、環(huán)境溫　　投影物鏡系統(tǒng)是深紫外光刻系統(tǒng)最核心的部度等吸收率測(cè)量結(jié)果的影響量,建立了測(cè)量不確分之一[1-2]。物鏡元件在激光作用下的吸

【相似文獻(xiàn)】

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3 通訊員 史喜菊;北京檢驗(yàn)檢疫局科技項(xiàng)目通過專家鑒定[N];中國(guó)國(guó)門時(shí)報(bào);2012年

4 記者 王婭莉;流量測(cè)量培訓(xùn)４月在桂林舉行[N];中國(guó)質(zhì)量報(bào);2004年

5 安嵐坡編輯;第二屆CIE測(cè)量不確定度專家研討會(huì)在德國(guó)舉行[N];消費(fèi)日?qǐng)?bào);2006年

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8 趙化甜;傳感器測(cè)量不確定度評(píng)估方法研究[D];上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;2015年

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本文編號(hào)：728356