本文關鍵詞：基于光纖雙波干涉的臺階高度在線高精度測量研究

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【摘要】：提出一種基于雙波干涉的臺階高度光纖在線干涉測量系統(tǒng)。利用光纖光柵(FBG)只反射布拉格波長的特性,使兩個波長同時并獨立地工作于同一個光纖干涉測量系統(tǒng)中,每個波長的干涉信號分別并同時被探測,將測量量程擴大為半合成波波長。利用反饋電路補償環(huán)境干擾對光纖干涉測量系統(tǒng)的影響,使光纖干涉測量系統(tǒng)適合于在線測量。本光纖干涉測量系統(tǒng)可測量的最大臺階高度達1mm,測量分辨率小于1nm。
【作者單位】： 北京交通大學理學院物理系光電檢測研究所;
【關鍵詞】： 光纖測量 干涉測量 臺階高度測量 在線測量
【基金】：國家自然科學基金(50975022) 北京市自然科學基金(3132033)資助項目
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在微電子、微機電系統(tǒng)(MEMS)、平板顯示和光伏電池等領域,通常會出現(xiàn)很多高度差從幾μm到1mm的臺階結構,為了得到高質量的產品,需要對這些臺階高度進行高精度在線測量。由于傳統(tǒng)的單波長干涉測量技術的干涉信號存在相位模糊的問題[1],不能對大于半波長的臺階高度進行測量

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本文編號：666453