本文關(guān)鍵詞：大口徑反射鏡子孔徑拼接自檢驗(yàn)精度分析

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【摘要】：為了解決大口徑反射鏡子孔徑拼接精度評價(jià)的問題,提出了自檢驗(yàn)的子孔徑拼接精度分析方法,實(shí)現(xiàn)了對大口徑反射鏡拼接精度的分析評價(jià),同時(shí)提供了一種拼接精度檢測方法。自檢驗(yàn)即利用子孔徑檢測面形對拼接獲得的拼接結(jié)果進(jìn)行拼接精度檢驗(yàn)。討論了相應(yīng)的精度評價(jià)指標(biāo)及計(jì)算方法,并結(jié)合工程實(shí)例,利用準(zhǔn)600mm干涉儀實(shí)現(xiàn)了對準(zhǔn)800mm平面鏡的拼接測量。以自檢驗(yàn)的評價(jià)方式對拼接精度進(jìn)行了分析,結(jié)果表明,拼接結(jié)果是準(zhǔn)確的,同時(shí)驗(yàn)證了以自檢驗(yàn)方式評價(jià)拼接精度的可靠性與準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);長春奧普光電技術(shù)股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 精度分析 大口徑反射鏡 子孔徑拼接 自檢驗(yàn)
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61036015) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(O8663NJ090)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言作為一種高精度光學(xué)鏡面測量方法,子孔徑干涉測量的核心思想是“以小檢大”,可以有效提高分辨率,增大測量范圍�？梢灾苯訉ζ矫�、球面以及陡度不大的非球面進(jìn)行測量。子孔徑干涉檢測在20世紀(jì)80年代由Arizona光學(xué)中心的C.J.Kim提出,最初拼接檢測中各子孔徑間是不重疊的,主

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 趙彤,彭光正,許耀銘;高頻脈動流量間接測量方法的研究[J];計(jì)量學(xué)報(bào);1992年02期

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本文編號：666415