本文關(guān)鍵詞：用于高空氣象探測(cè)的聚酰亞胺薄膜濕敏電容研究

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【摘要】：設(shè)計(jì)制作了一種基于MEMS技術(shù),可應(yīng)用于高空濕度探測(cè)的薄膜濕敏電容.電容采用三明治結(jié)構(gòu),聚酰亞胺薄膜作為濕度敏感層材料,金作為上、下電極.測(cè)試結(jié)果表明,在15%RH~95%RH的全量程范圍內(nèi),濕敏電容的合格率≥80%,靈敏度約為0.29pF/%RH,線性誤差1.5%RH,濕滯較小,響應(yīng)時(shí)間小于4 s,溫度系數(shù)好,具有良好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性.研究表明,制作的濕敏電容綜合指標(biāo)良好,適合批量生產(chǎn),可以滿足高空氣象探測(cè)要求.
【作者單位】： 華東師范大學(xué)信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院;上海長(zhǎng)望氣象科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 濕度傳感器 濕敏電容 聚酰亞胺 MEMS
【分類號(hào)】：TP212;TH765.1
【正文快照】： 0引言濕度!1-2】在人們生產(chǎn)、生活中起著重要的作用.有關(guān)濕度傳感器的研究%—直是大家關(guān)注的熱點(diǎn).近年來,由于聚合物薄膜濕敏電容具有小型化、集成化、低功耗M等特點(diǎn),吸引了研究者的目光.應(yīng)用在高空氣象探測(cè)t8】領(lǐng)域的濕敏電容要求很高,例如要求靈敏度高、響應(yīng)時(shí)間快、濕滯小

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

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本文編號(hào)：636415