本文關(guān)鍵詞：流式細(xì)胞儀中壓電掃描振鏡的設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： 壓電掃描振鏡 光學(xué)掃描 諧振 有限元仿真

【摘要】：針對流式細(xì)胞成像的應(yīng)用需求,設(shè)計(jì)了一維壓電掃描振鏡并進(jìn)行了性能測試.該振鏡利用微鉸鏈梁將壓電片的伸縮振動(dòng)轉(zhuǎn)化為反射面的旋轉(zhuǎn)振動(dòng).首先,通過有限元仿真對壓電振鏡進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模和性能分析,得到了振鏡的工作模態(tài)以及掃描頻率和最大掃描角度隨結(jié)構(gòu)尺寸的變化關(guān)系.接著,制備了由壓電片和硅片基底組成的振鏡樣機(jī).最后,利用角度測量系統(tǒng)對振鏡的掃描特性和頻響特性進(jìn)行了測試.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:2 mm×2 mm的反射面在12Vpp的電壓驅(qū)動(dòng)下可在諧振頻率10.034 k Hz處產(chǎn)生14°的掃描角度,在5.2Vpp的電壓驅(qū)動(dòng)21.26 k Hz的高頻諧振下,仍可以產(chǎn)生3.35°的掃描角度.振鏡樣機(jī)Q值達(dá)865,掃描角度與驅(qū)動(dòng)電壓幅值呈線性關(guān)系.該振鏡具有較大的鏡面尺寸和較高的掃描頻率,可滿足流式細(xì)胞掃描成像快速和高分辨率的應(yīng)用需求.
【作者單位】： 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所;中國科學(xué)院生物醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 壓電掃描振鏡 光學(xué)掃描 諧振 有限元仿真
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2011AA02A106) 蘇州市應(yīng)用基礎(chǔ)研究計(jì)劃資助項(xiàng)目(SYG201423,SYG201207)
【分類號】：TH77
【正文快照】： 流式細(xì)胞術(shù)作為一種高通量的熒光標(biāo)記檢測手段,近年來被日益廣泛地應(yīng)用于基礎(chǔ)醫(yī)學(xué)和臨床醫(yī)學(xué)中[1].然而,傳統(tǒng)的流式細(xì)胞儀只能針對細(xì)胞的整體大小形態(tài)以及結(jié)構(gòu)復(fù)雜程度粗略地加以分類.如能在保證高通量的前提下,對流式系統(tǒng)中每個(gè)細(xì)胞加以成像,就能大幅提升流式系統(tǒng)的細(xì)胞辨識

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本文編號：594055