本文關(guān)鍵詞：離子束拋光高陡度離軸非球面的去除函數(shù)修正

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【摘要】：研究了三軸離子束系統(tǒng)拋光大口徑高陡度離軸非球面過程中鏡面曲率變化對離子束拋光去除函數(shù)的影響。提出了利用修正矩陣修正各駐留點(diǎn)處的去除函數(shù)信息,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對高陡度離軸非球面高精度拋光的方法。該方法通過對離軸非球面進(jìn)行坐標(biāo)轉(zhuǎn)換來降低陡度變化對去除函數(shù)的影響;基于Sigmund濺射理論分析離子束拋光非球面材料的去除率,建立離子束拋光非球面去除函數(shù)模型,計(jì)算了材料去除率在非球面各駐留點(diǎn)處的變化。最后,根據(jù)投影原理計(jì)算在各駐留點(diǎn)處去除函數(shù)的半寬,得到以駐留點(diǎn)矩陣為基礎(chǔ)的去除函數(shù)修正矩陣,從而掌握每一個駐留點(diǎn)處的去除函數(shù)信息,然后根據(jù)計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形(CCOS)原理解得加工駐留時間分布。選取口徑為900mm×680mm,離軸量為350mm的離軸體育場型非球面鏡進(jìn)行了拋光實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)顯示拋光后非球面鏡面形精度的RMS值由32.041nm達(dá)到11.566nm,收斂率達(dá)2.77,對實(shí)際加工具有指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)制造 離軸非球面 離子束拋光 濺射效應(yīng) 去除函數(shù)
【基金】：國家973重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2011CB013205) 國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(No.61036015)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 2.中國科學(xué)院大學(xué),北京100049)1引言離軸非球面反射鏡能夠以單一元件提供更多的光學(xué)設(shè)計(jì)自由度,且具有良好的光學(xué)性能,因而在現(xiàn)代空間光學(xué)系統(tǒng)中的應(yīng)用越來越廣泛[1]。但是其加工難度大,傳統(tǒng)光學(xué)加工工藝如小磨頭,在加工過程中會引入復(fù)印效應(yīng)、邊緣效應(yīng)等,難以獨(dú)立完成對高精

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本文編號：563271