發(fā)布時間：2017-07-18 23:19

  本文關(guān)鍵詞：利用相位差異法檢測鏡面面形

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【摘要】：為了驗證相位差異波前檢測器演示系統(tǒng)利用自帶光源獨立完成波前檢測任務(wù)的能力,搭建了基于相位差異法檢測鏡面面形的實驗平臺。測試時在焦面和離焦面上同時采集短曝光圖像,在已知離焦量的前提下解算出波前相位分布并恢復(fù)出目標(biāo),從而實現(xiàn)對大鏡面像差的估計。為了進一步驗證相位差異測量方法的準(zhǔn)確性,對相位差異法與高精度的ZYGO干涉儀得到的測量結(jié)果進行了比較分析。實驗結(jié)果表明:兩種方法獲得的面形誤差分布及誤差的峰谷值(PV)和均方根值(RMS)一致性很好,而波前RMS的測量精度達到了2.83/1 000λ。得到的結(jié)果表明提出的相位差異法能有效地檢測出鏡面的像差,且準(zhǔn)確性很好。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 鏡面面形 面形檢測 相位差異法 澤爾尼克多項式 像差
【基金】：國家863高技術(shù)研究發(fā)展計劃資助項目(No.2011AA8082035)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言自適應(yīng)光學(xué)、主動光學(xué)等新型光學(xué)系統(tǒng)常在后端將光路分成兩束,一路進入波前傳感設(shè)備用于探測系統(tǒng)波前相位,以校正波面;另一路進入終端成像相機。為了使波面校正效果與相機成像效果完全對應(yīng),應(yīng)盡量減少這兩束光路之間的波面相位差別,但由于光路調(diào)整、元件加工等因素,兩束

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

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【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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5 趙金宇;陳占芳;王斌;汪宗洋;張楠;王建立;吳元昊;張世學(xué);;相位差異法目標(biāo)函數(shù)的并行化改造[J];光學(xué)精密工程;2012年02期

6 趙金宇;吳元昊;賈建祿;喬兵;王斌;汪宗洋;馬鑫雪;;基于實時波前信息的圖像復(fù)原[J];光學(xué)精密工程;2012年06期

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9 黃德天;吳志勇;;基于非負(fù)支撐域受限遞歸逆濾波的自適應(yīng)圖像盲復(fù)原[J];光學(xué)精密工程;2012年09期

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3 程強;基于PD方法的空間相機位相信息反演技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2013年

4 馬鑫雪;基于焦面圖像信息的波前探測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機械與物理研究所);2014年

5 羅群;相位差波前探測技術(shù)及其在拼接鏡共相檢測中的應(yīng)用研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

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【二級參考文獻】

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3 吳元昊;王斌;趙金宇;明名;董磊;楊輕云;王鳴浩;王國強;;利用相位差異技術(shù)恢復(fù)寬帶白光圖像[J];光學(xué)精密工程;2010年08期

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5 王斌;汪宗洋;王建立;趙金宇;吳元昊;張世學(xué);董磊;文明;;雙相機相位差異散斑成像技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2011年06期

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本文編號：560269