本文關(guān)鍵詞：在線診斷光譜儀用光柵制作誤差對(duì)光譜成像的影響及補(bǔ)償

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【摘要】：為制作應(yīng)用于在線診斷光譜儀的高分辨率光柵,通過分析記錄參數(shù)誤差對(duì)光柵刻線密度、聚焦曲線、譜像寬度等的影響及規(guī)律,提出相應(yīng)的補(bǔ)償方法是必要前提。基于費(fèi)馬原理、光程差理論及像差理論,分析了光柵光譜性能對(duì)記錄參數(shù)誤差的影響及其敏感性。在光柵使用參數(shù)固定的情況下,記錄角度誤差對(duì)光譜性能影響較大,在光柵設(shè)計(jì)時(shí)可通過對(duì)記錄角度加權(quán)的方法來提高記錄角度的取值的精確度;記錄臂長(zhǎng)誤差對(duì)光譜性能影響較小;記錄臂長(zhǎng)和記錄角度的相對(duì)誤差決定了其對(duì)光柵光譜性能影響程度。結(jié)果表明,單側(cè)記錄臂長(zhǎng)和角度誤差對(duì)光譜性能的影響,可分別通過調(diào)節(jié)兩臂臂長(zhǎng)及角度的相對(duì)誤差進(jìn)行補(bǔ)償。由此可以確定對(duì)應(yīng)用于在線監(jiān)測(cè)光譜儀光柵成像質(zhì)量影響較大的誤差因素,并給出制作誤差的相應(yīng)補(bǔ)償方法,降低曝光系統(tǒng)的調(diào)試難度,為制作在線診斷光譜儀用高分辨率光柵提供理論指導(dǎo)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 平面變柵距全息光柵 分辨率 刻線密度誤差 聚焦曲線 譜像寬度
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2011YQ120023)資助
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 2.中國(guó)科學(xué)院大學(xué),北京100049引言同步輻射光源由于其連續(xù)光譜、高準(zhǔn)直性、高亮度、具有偏振以及脈沖時(shí)間結(jié)構(gòu),同時(shí)其光譜性能可預(yù)知和精確調(diào)節(jié)等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科學(xué)、物質(zhì)科學(xué)和生命科學(xué)等科學(xué)研究領(lǐng)域[1-5]。大連化物所相干光源(DCLS)作為第四代同步輻射光源的光學(xué)設(shè)計(jì)

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