超大高寬比X射線波帶片的研制
【文章頁數(shù)】:74 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-2?EXRF的STXM光束線的示意圖[22]??-emar'
科學(xué)家完成。自此之后,分辨率在亞微米量級(jí)和亞i〇〇nm的STXM也相繼出??現(xiàn)剛。??圖1-2所示為STXM的示意圖。X射線光源多數(shù)通過同步輻射光源的方式提??供,利用波帶片這一光學(xué)元件對(duì)X射線進(jìn)行聚焦,聚焦后的X射線在焦點(diǎn)處形成??一個(gè)極小的光斑,由此通過樣品,形成一個(gè)微小的光....
圖1-3軟X射線對(duì)C、O、蛋白質(zhì)和水的穿透深度曲線[32]??-
生命科學(xué)領(lǐng)域的研究人員,利用x射線顯微成像技術(shù)研究自然狀態(tài)下的生物??活體。“水窗”指X射線波長在2.34?nm-4.38?nm之間[3G’31】,此波段X射線對(duì)C、??H、0、N等幾種元素有明顯的吸收邊(圖1-3),生物活細(xì)胞的組成也主要含有這??幾種元素,因此可利用不同元素對(duì)....
圖1-4?(a-f)小鼠的腺癌細(xì)胞中細(xì)胞器的軟X射線成像圖
在微電子領(lǐng)域,利用硬X射線三維成像技術(shù)可以直接實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片內(nèi)部金??屬布線的觀察,檢測(cè)芯片電路中存在的缺陷[33],且不會(huì)對(duì)芯片結(jié)構(gòu)造成損傷,觀察??時(shí)不需要復(fù)雜的制樣工作,直接觀測(cè)即可。圖1-5是利用硬X射線三維成像技術(shù)??觀測(cè)到的半導(dǎo)體芯片的三維斷層。??現(xiàn)階段,微電子領(lǐng)域....
圖1-5硬X射線三維成像技術(shù)觀測(cè)芯片斷層??Fig?1-5?Hard?X-ray?3D?Imaging?Technology?Observing?Chip?Faults??
?成像技術(shù)觀測(cè)小鼠腺癌細(xì)胞,分辨率在36-70?nm,觀測(cè)到多種細(xì)胞器結(jié)構(gòu)[34]。??圖1-4?(a-f)小鼠的腺癌細(xì)胞中細(xì)胞器的軟X射線成像圖。M?(線粒體),L?(溶酶體),ER??(內(nèi)質(zhì)網(wǎng)),V?(囊泡),PM?(質(zhì)膜),NM?(核膜),NP?(核孔),Nu?(核仁),N....
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