隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,干涉波前探測技術(shù)因具有非接觸、高靈敏度和高精度等特點(diǎn)而得到廣泛的應(yīng)用。其中需要標(biāo)準(zhǔn)參考光的干涉儀主要致力于高精度面形檢測,自相干干涉儀主要致力于探測連續(xù)變化的動態(tài)波前。在眾多的自相干干涉技術(shù)中,徑向剪切干涉波前探測技術(shù)容易設(shè)計成共光路,僅需要獲得徑向方向的斜率,無信息丟失,可以極大地減小系統(tǒng)誤差。經(jīng)過半個多世紀(jì)的發(fā)展,徑向剪切干涉波前探測技術(shù)在數(shù)理模型、剪切結(jié)構(gòu)、波前重構(gòu)算法等方面進(jìn)展顯著。然而,為了實(shí)現(xiàn)徑向剪切干涉,徑向剪切干涉儀的結(jié)構(gòu)還是非常的復(fù)雜,需要多個光學(xué)元件構(gòu)成;同時為了處理干涉圖,需要在光路中引入額外的空間載頻或者相移,破壞了系統(tǒng)的穩(wěn)定性;另外,徑向剪切率調(diào)整不便,對不同的探測目標(biāo)不容易調(diào)整。上述不足極大地限制了徑向剪切干涉儀的應(yīng)用場景,因此有必要在這些方面展開相關(guān)的研究。本文圍繞徑向剪切干涉波前探測技術(shù)存在的主要問題:結(jié)構(gòu)復(fù)雜,從干涉圖中提取相位困難,徑向剪切率調(diào)整不便,對徑向剪切干涉儀進(jìn)行了深入研究,取得了一系列的研究成果。首先,對于徑向剪切干涉波前探測技術(shù)存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜問題,針對性的提出了基于單個菲涅爾波帶片的多波前徑向剪切干涉儀。這是首次提出...

【文章頁數(shù)】：137 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

圖1.1Twyman-Green干涉儀原理光路圖

圖1.1Twyman-Green干涉儀原理光路圖[36]：(a)棱鏡面形檢測；(b)凸透鏡面形檢測Figure1.1Twyman–Greeninterferometerusedtotest(a)aprismand(b)alens[36]1.2.....

圖1.2Fizeau干涉儀原理光路圖

圖1.2Fizeau干涉儀原理光路圖[36]Figure1.2OpticalsystemofaFizeauinterferometer[36]目前Twyman-Green干涉儀和Fizeau干涉儀都已經(jīng)獲得了成功的應(yīng)用，但這兩種干涉儀均屬于傳統(tǒng)波前探測....

圖1.3帶有針孔的半透射板點(diǎn)衍射干涉儀原理示意圖

孔制作精度足夠高，就能夠產(chǎn)生滿足精度的參考波前，采用衍射產(chǎn)生參考波前，擺脫了參考光學(xué)元件加工精度的限制。這種方法與傳統(tǒng)干涉波前探測方法相比，在產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)參考光方面具有巨大的優(yōu)勢，因此在高精度的波前探測領(lǐng)域，點(diǎn)衍射干涉技術(shù)有著廣泛的應(yīng)用前景。不過，該技術(shù)同時存在光能利用率較低的問題，....

圖1.4環(huán)型共光路點(diǎn)衍射干涉儀原理光路圖

圖1.4環(huán)型共光路點(diǎn)衍射干涉儀原理光路圖[4systemofcircularcommon-pathpointdiffract涉波前探測技術(shù)探測技術(shù)早在20世紀(jì)30年代就已經(jīng)提出制出待測波前，并將復(fù)制出的待測波前與后使相互重疊的光束產(chǎn)生干涉，這種干涉它本身，....

本文編號：4027855