開發(fā)一款炫晶板平面度高精度測(cè)量系統(tǒng),其可以利用較少的硬件設(shè)備,更少的人力資源完成平面度測(cè)量工作,解決目前人工平面度檢測(cè)耗時(shí)長、精度低的問題。通過實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的大量重復(fù)性實(shí)驗(yàn)及本系統(tǒng)與三坐標(biāo)測(cè)量儀的對(duì)比實(shí)驗(yàn),證明了該系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、操作靈活、精度高,完全滿足課題提出的要求。

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【部分圖文】：

圖1檢測(cè)平臺(tái)俯視圖

檢測(cè)平臺(tái)地面由150mm厚的大理石組成,在其四角安裝鋁合金支架用于支撐傳感器。在頂板上方等距安裝傳感器,傳感器的布局采用九點(diǎn)式分布的方式。檢測(cè)平臺(tái)俯視圖如圖1所示。傳感器固定在待測(cè)炫晶板正上方,并且對(duì)底部大理石板材進(jìn)行三坐標(biāo)標(biāo)定,通過修正底面大理石數(shù)據(jù),得到理想的參考平面,使得....

圖2檢測(cè)平臺(tái)主視圖

傳感器固定在待測(cè)炫晶板正上方,并且對(duì)底部大理石板材進(jìn)行三坐標(biāo)標(biāo)定,通過修正底面大理石數(shù)據(jù),得到理想的參考平面,使得最終擬合平面的誤差最小。檢測(cè)平臺(tái)主視圖如圖2所示,待測(cè)炫晶板俯視圖如圖3所示。本系統(tǒng)選擇松下公司的HG-C1050激光位移傳感器,測(cè)量中心距激光發(fā)射點(diǎn)50mm,測(cè)量....

圖3待測(cè)炫晶板俯視圖

本系統(tǒng)選擇松下公司的HG-C1050激光位移傳感器,測(cè)量中心距激光發(fā)射點(diǎn)50mm,測(cè)量范圍±15mm,每個(gè)傳感器控制誤差在30μm以下。傳感器結(jié)構(gòu)如圖4所示。圖4傳感器結(jié)構(gòu)

圖4傳感器結(jié)構(gòu)

圖3待測(cè)炫晶板俯視圖程序主界面如圖5所示,其主要分為串口與數(shù)據(jù)顯示兩部分,首先需要打開對(duì)應(yīng)串口與傳感器正確連接,傳輸正常后再開始測(cè)量,對(duì)傳感器發(fā)出指令并接收數(shù)據(jù)進(jìn)行后續(xù)處理,最后在窗口顯示數(shù)值。點(diǎn)擊停止測(cè)量后串口仍然保持通訊狀態(tài),數(shù)據(jù)顯示textbox為最后一次測(cè)量的數(shù)值,點(diǎn)擊....

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